Iwakiの高圧ポンプ

流量: 0 l/h - 840 l/h
圧力: 0.6, 0.55 MPa
出力: 10 W - 150 W

... シールレス構造で、OEMに最適 MDGシリーズのポンプは、小型でリークフリー、シールレス構造です。そのため、機械設備に最適なポンプです。マグネット駆動のため、軸封の複雑な交換は必要ありません。 耐薬品性に優れている すべての液端部品は、SUS316、PTFE、PPS、PEEKで製造されています。これらの材料の組み合わせは、非常に高いレベルの耐食性を提供します。このため、さまざまな刺激的な薬液の移送が保証されています。 高圧ギヤロータリーシステム MDGシリーズの特徴は、高圧力と小吐出量の比率にあります ...

流量: 0 l/h - 5.4 l/h
圧力: 0.2 MPa
流体温度: 0 °C - 60 °C

... SiCの耐摩耗性により、研磨性のある液体や固形物を含む液体の取り扱いが可能です。最大20.000mPasまでの高粘度液の定流量が可能です。 コンパクトな構造 軽量・コンパクトなポンプは、縦置き・横置きが可能です。モーターの回転方向を変えることで、吸込側と吐出側を変更することができます。 シンプルな構造 部品点数が少なくシンプルな構造なので、組立・分解・洗浄が容易に行えます。 ...

流量: 14, 16, 17, 20 l/min
圧力: 0 Pa - 350,000 Pa
出力: 180 W - 220 W

... Mag.ドライブタービンポンプ MDTシリーズでは、プラスチック製のマグネットドライブタービンポンプを用意しています。吐出圧力は0.35MPaまで対応可能です。シールレス構造のため、漏水や軸封の交換が不要です。MDTはコンパクトなサイズなので、レーザー装置やX線装置などの冷却装置やチラーシステムへの組み込みに最適です。 ...

流量: 0 l/h - 6,000 l/h
圧力: 0 Pa - 500,000 Pa
流体温度: 5 °C - 180 °C

... 240spmの高速ストロークが可能になりました。さらに、発生する脈動も最小限に抑えることができます。ポンプの種類により、ストローク数は異なります。 コンタミネーションフリーデザイン 液端のプラットはすべてフッ素樹脂製です。金属部分が露出しないように設計されています。外装もフッ素樹脂でコーティングされています。軸封（特許出願中）の採用により、粒子状物質の排出を大幅に低減する効果があります。 広い液温範囲と高圧吐出量 温度5～180℃、圧力0.5MPaまでの液体を扱うことが可能です。洗浄工程、CMP工程、 ...

流量: 0 l/h - 2,400 l/h
圧力: 0 Pa - 400,000 Pa
流体温度: 5 °C - 100 °C

... コンタミネーションフリー設計 液端部には、耐熱性、耐薬品性に優れたフッ素樹脂を採用。腐食性の強い液体を、粉塵を発生させることなく安全に移送することができます。 センサー駆動方式 近接スイッチを内蔵し、ソレノイドの開閉を行うセンサードライブ方式を採用しています。低ストロークでも安定した動作が可能です。 枚葉処理用には、スプレーシステムを搭載した低流量用ラテラルタイプのFA-2Eを用意しています。また、大流量対応の縦型FA-40VEWでは、200/300mmまでのウェーハを洗浄することが可能です。 ...

圧力: 0.05 MPa - 0.3 MPa
流体温度: 20 °C - 60 °C
重量: 1.1, 1.2, 1.5 kg

... この化学液分配ポンプ（CFD）は、高純度のウェーハ液体を処理するように設計されています。 アンモニア水や過酸化水素のような高蒸気圧の化学物質も移送することができます。 フッ素プラスチックの使用により、高純度と優れた耐薬品性が確保されます。 ストローク速度に加えて、ストローク長の設定は広い範囲をカバーします。 粒子の蓄積は、PFAホース接続によって回避されます。 ...