IwakiのPFA製ポンプ

流量: 0 l/min - 1,400 l/min
ヘッド: 13.5 m - 74 m
出力: 1.5 kW - 15 kW

... ノンコンタクト方式を採用しています。希土類磁石の高い磁力により、ポンプ前後の接触面を接触させない。そのため、高温になるのを避けることができます。これにより、従来のマグドライブ式フッ素樹脂ポンプと比較して、ドライ運転に対する耐性が大幅に向上しました。(高密度カーボン軸受搭載のCFタイプのみ）。 ETFEとPFAが標準装備されています。 炭素繊維で強化されたETFEとPFAのライニングが用意されており、ほとんどの用途に対応できます。PFAは未充填の天然素材であるため、コンタミの発生が少なく、高純度薬品 ...

流量: 0 l/min - 1,400 l/min
ヘッド: 13.5 m - 70 m
出力: 0.4 kW - 15 kW

流量: 0 l/h - 6,000 l/h
圧力: 0 Pa - 500,000 Pa
流体温度: 5 °C - 180 °C

... 高速ストローク 小型・軽量化、コスト削減の結果、最大240spmの高速ストロークが可能になりました。さらに、発生する脈動も最小限に抑えることができます。ポンプの種類により、ストローク数は異なります。 コンタミネーションフリーデザイン 液端のプラットはすべてフッ素樹脂製です。金属部分が露出しないように設計されています。外装もフッ素樹脂でコーティングされています。軸封（特許出願中）の採用により、粒子状物質の排出を大幅に低減する効果があります。 広い液温範囲と高圧吐出量 温度5～180℃、圧力0.5MPa ...

流量: 0 l/h - 4,800 l/h
圧力: 0 Pa - 4,500,000 Pa
流体温度: 5 °C - 180 °C

... 使用されます。 吸入と吐出のフィッティングはPFA製です。一体型構造により、パーティクルの堆積を防ぐことができます。特殊なポンプドライバを使用した場合、吐出量を簡単に制御・監視することができます。 ...

流量: 0 l/h - 2,400 l/h
圧力: 0 Pa - 400,000 Pa
流体温度: 5 °C - 100 °C

... コンタミネーションフリー設計 液端部には、耐熱性、耐薬品性に優れたフッ素樹脂を採用。腐食性の強い液体を、粉塵を発生させることなく安全に移送することができます。 センサー駆動方式 近接スイッチを内蔵し、ソレノイドの開閉を行うセンサードライブ方式を採用しています。低ストロークでも安定した動作が可能です。 枚葉処理用には、スプレーシステムを搭載した低流量用ラテラルタイプのFA-2Eを用意しています。また、大流量対応の縦型FA-40VEWでは、200/300mmまでのウェーハを洗浄することが可能です。 ...

圧力: 0.05 MPa - 0.3 MPa
流体温度: 20 °C - 60 °C
重量: 1.1, 1.2, 1.5 kg

... この化学液分配ポンプ（CFD）は、高純度のウェーハ液体を処理するように設計されています。 アンモニア水や過酸化水素のような高蒸気圧の化学物質も移送することができます。 フッ素プラスチックの使用により、高純度と優れた耐薬品性が確保されます。 ストローク速度に加えて、ストローク長の設定は広い範囲をカバーします。 粒子の蓄積は、PFAホース接続によって回避されます。 ...