MICRO-EPSILONのマルチチャンネル変位センサ

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リニア変位センサ
リニア変位センサ
confocalDT IFC2416/IFC2417

測定範囲: 0.1 mm - 30 mm
直線性: 0.02 %
測定周波数: 100 Hz - 25,000 Hz

... 高速で正確かつ安定した測定が可能になります。コンパクトな設計により、生産ラインから半導体製造装置まで、ほとんどすべての産業分野における高分解能距離・厚み測定に理想的なソリューションです。 マルチピークオプションにより、最大5層の透明物体も測定可能です。しかし、重要なのは汎用性です:IFC2416コントローラは、多くの センサと互換性があり、測定範囲、オフセット距離、および真空適性、測定角度、ビーム経路などの特殊特性を柔軟に適合させることができます。 ...

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リニア変位センサ
リニア変位センサ
confocalDT IFC2421/22

測定範囲: 0.1 mm - 30 mm
直線性: 0.03 %
測定周波数: 100 Hz - 10,000 Hz

... システムは1 チャ ネルタイプあるいは2 チャ ネルタイプでお求めいただけ、とりわけ連続生産を行う場合に低価格なソリューションが可能となります。測定ごとに異なる表面の補正は、CCD列のアクティブ露光制御が素早く正確に行います。 コントローラはIFSシリーズの全 センサタイプと互換性があるので、数多くの測定タスクをカバーすることができます。オプションとして、多層体の厚さ測定が行える マルチピークタイプのコントローラもあります。2 チャ ネルタイプのconfocalDT ...

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リニア変位センサ
リニア変位センサ
capaNCDT 6200

測定範囲: 0.05 mm - 10 mm
直線性: 0.03 % - 0.2 %
測定周波数: 20 Hz - 20,000 Hz

... capaNCDT 6200は、初の完全モジュラー式 マル チチネル測定システムです。コントローラは4 チャ ネルまで簡単に増設できるので、フレキシブルな使用用途に向いています。マイクロエプシロン社の静電容量 センサは、どれもcapaNCDT 6200コントローラと互換性があり、統合Ethernetインターフェースによりウェブインターフェースを介したパラメータ化と測定が可能です。高分解能測定には復調器DL6230をご提供しています。20 ...

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リニア変位センサ
リニア変位センサ
capaNCDT 6228

測定範囲: 1 cm - 10 cm
直線性: 0.05 % - 0.07 %
測定周波数: 20 Hz - 1,000 Hz

... 新しいcapaNCDT 6228静電容量式 センサシステムは、周囲温度+800 °Cまでの測定タスク用に設計されています。この高性能コントローラにはCSE/HTシリーズの センサを最大4つまで同時に接続でき、内蔵の高温 センサケーブルが電界や磁界による干渉を補正します。測定データはEthernetやEtherCATといった最新のインターフェースを介してアナログとデジタルの両方で出力されます。 ...

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リニア変位センサ
リニア変位センサ
capaNCDT 6500

測定範囲: 0.05 mm - 10 mm
直線性: 0.03 % - 0.05 %
測定周波数: 20 Hz - 8,500 Hz

... 静電容量式 変位 センサは、最高精度の分解能が要求される測定タスク用に設計されています。静電容量 マル チチネルシステムcapaNCDT 6500はサブナノメートルレベルでの安定した測定に適しており、コントローラのデータ転送最高速度は最大7.8 kHz(デジタル、最大4 チャ ネル)、帯域幅は8.5 ...

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リニア変位センサ
リニア変位センサ
capaNCDT MD6-22

測定範囲: 4 mm - 12 mm
直線性: 0.2 %
測定周波数: 100 Hz

...

  • フラットセンサを用いた曲面の片側ギャップ測定
  • センサのアライメント補正を伴う平面の両側ギャップ測定
  • 曲面での両側ギャップ測定
  • 同一側を測定する2つのセンサ信号の評価/補償
  • 隙間に挿入したフラットセンサによるモバイルギャップ測定(最大約12 mm)


  • 仕様 ...

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    リニア変位センサ
    リニア変位センサ
    confocalDT IFC2411/IFC2412

    測定範囲: 0.1 mm - 30 mm
    直線性: 0.02 %
    測定周波数: 100 Hz - 8,000 Hz

    ... エンコーダ入力

  • すべての confocalDT センサ対応(測定範囲 0.1 mm〜30 mm)
  • 量産用途および OEM に最適
  • 測定チャネル:IFC2411 = 1 チャネル、IFC2412 = 2 チャネル


  • IFC2412(デュアルチネル)詳細
    IFC2412 ...

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    リニア変位センサ
    リニア変位センサ
    confocalDT IFC2465/66

    測定範囲: 0.1 mm - 30 mm
    直線性: 0.03 %
    測定周波数: 100 Hz - 30,000 Hz

    ... 実現します。 マルチピークモデルは最大5層の透明層の厚さを同時に測定できます。コントローラは高い発光強度と最大30 kHzの高い測定レートを組み合わせており、暗いまたは粗い表面でも高い信号強度を確保します。高速な露光制御により表面変化を補償します。

    モデル

    • IFC2465:シングルチネルコントローラ
    • IFC2466:デュアルチネルコントローラ

    互換性
    すべての ...

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