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Particle Measuring Systemsのレーザーパーティクルカウンタ
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... Chem 20 液中 パー ティ クル カウ ンターは、最先端のエレクトロニクス産業で使われる高品位薬液中の不溶性微粒子を測定するために開発された、高感度の常時モニタリング装置です。超純水用 パー ティ クル カウ ンター ...
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... Plus は、超純水のインライン・モニタリングに最適化された光学式液中 パー ティ クル カウ ンタです。流量75 ml/minで測定し、20 nmの微粒子(20 nmのPSL粒子、9 nmのAu粒子)を検出します。 Ultra DI 20 Plus は装置内部で発生する熱を効率よく外部に放出できるため、恒温槽を使用せずに安定した精度の高い測定を実現します。信頼性、再現性の高いデータの取得が可能です。 安定した内部温度は、 レーザーを過度な劣化から守ります。また、恒温槽が不要なため、 ...
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... HSLIS eシリーズ 液中 パー ティ クル カウ ンターは、最先端の半導体プロセスに使用される超純水および高品位薬液を常時モニタリングするための装置です。導入コスト・運用コストが重要視される、複数台を設置する場合や長期の傾向分析を行う場合などに適しています。 HSLIS-M50eは、超純水の測定に特化したモデルです。最小で粒径 50 ...
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... HSLIS eシリーズ 液中 パー ティ クル カウ ンターは、最先端の半導体プロセスに使用される超純水および高品位薬液を常時モニタリングするための装置です。導入コスト・運用コストが重要視される、複数台を設置する場合や長期の傾向分析を行う場合などに適しています。 HSLIS-M65eは、超純水・高品位薬液中の不溶性微粒子を検出します。最小粒径検出感度は100 ...
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... LiQuilaz II Eシリーズ光遮へい型 パー ティ クル カウ ンターは、最大15チャンネルの粒径分類能を持つ、全量測定方式の液中 パー ティ クル カウ ンターです。フッ化水素酸を除く、高温の腐食性薬液などの微粒子測定に使用することができます。吸引サンプルを全量測定するため、短時間で正確な測定結果が得られます。 ...
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... 高分子溶液に レーザーを照射すると、汚染粒子だけでなく分子からも光散乱が生じるため、 パー ティ クル カウ ンター(光散乱式)の検出信号にノイズが生じます。また背景ノイズも大きくなり、 パー ティ クルからの信号が埋もれてしまいます。NanoVision ...
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... Ultra DIシリーズの液中 パー ティ クル カウ ンターは、最先端のエレクトロニクス産業で使われる超純水中の不溶性微粒子を測定するために開発された、高感度の常時モニタリング装置です。Ultra DI 50は、超純水中の粒径 50 nmの微粒子を検出することができます。偽計数、単位時間あたりに測定可能なサンプル量、計数効率において優れた性能を有しています。 ...
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