粒子カウンター HSLIS-M50e

レーザー液体用

HSLIS eシリーズ 液中パーティクルカウンターは、最先端の半導体プロセスに使用される超純水および高品位薬液を常時モニタリングするための装置です。導入コスト・運用コストが重要視される、複数台を設置する場合や長期の傾向分析を行う場合などに適しています。 HSLIS-M50eは、超純水の測定に特化したモデルです。最小で粒径 50 nmの微粒子を検出します。オプションの Facility Net モニタリングソフトウェアで統合管理することができます。