液体サンプラー SLS-20

粒子研究所用

Chem 20™ 液中パーティクルカウンター用シリンジサンプラー SLS-20はChem 20 液中パーティクルカウンター用のサンプリング装置で、Chem 20でバッチ測定を行う場合に使用します。 Chem 20は最先端のエレクトロニクス製造プロセスで使用される高品位薬液をモニタリングするために開発されたパーティクルカウンターで、粒径20 nmを検出する、すぐれた感度を備えています。主として高品位薬液あるいは超純水のインライン・モニタリングに使われてきましたが、SLS-20により、パーツ洗浄の評価のようなバッチ・サンプリングが適したアプリケーションにおいてもChem 20が性能を発揮します。 SLS-20の操作はすべてSamplerSightソフトウェア（オプション）で行います。SamplerSightはPMSのバッチモニタリング用液中パーティクルカウンターすべてに共通のソフトウェアです。 Chem 20液中パーティクルカウンターに接続して高感度バッチ測定 試料の腐食性の有無に応じてシリンジの仕様を選択可能 フッ化水素酸に強いフッ素樹脂シリンジをラインアップ SamlerSight ソフトウェア（別売り）を使用して、バッチ・モニタリングのレシピを定義・登録 ユーザーフレンドリーで使いやすいソフトウエア 登録したレシピの測定ボタンをクリックするだけで自動実行 ユーザーごとに複数のレシピを定義・登録可能 パスワードによるユーザー権限の管理 カスタマイズ可能なレポート様式を標準装備