安全キャビネット

化学粒子センサーを収容し、外部アラームで化学物質のリークを検知し、リーク発生時には二次封じ込めを行います。化学粒子カウンターやサンプル接続部で化学物質が漏れた場合、システムは自動的に漏れを検出し、入口と出口のサンプルバルブを遮断し、粒子センサーへの電源を切り、外部アラーム接点を提供します。 二次封じ込め、ポリプロピレン構造 15～40℃の常温プロセス化学物質のサンプリングを想定 液漏れ検知器 安全カットオフスイッチ 外部接点を備えた外部リークアラームライトにより、外部システムへのリークアラーム通信が可能 入口と出口のサンプルシャットオフバルブ 大きな気泡を除去するPFAバブルセパレータ ドアインターロック付きの透明なトップアクセスドア 化学式パーティクルカウンターへの電源供給を制御 2組のサイドマウント型のハンドル ケミカルパーティクルセンサーを安全に収納することが可能 化学物質の漏れを自動的に検知してアラームを発する アラーム発生時には化学物質のサンプルラインを安全に遮断することが可能 粒子のモニタリング 化学物質供給システム 半導体プロセスツール 高純度化学物質の包装工場