化学製品パーティクルカウンタ Chem 20™

レーザークリーンルーム用ステンレス製

Chem 20 液中パーティクルカウンターは、最先端のエレクトロニクス産業で使われる高品位薬液中の不溶性微粒子を測定するために開発された、高感度の常時モニタリング装置です。超純水用パーティクルカウンター Ultra DI®シリーズで実績のある光学系構造をさらに進化させることにより、粒径20 mmの微粒子（20nmのPSL粒子、 9nmのAu粒子）の検出が、高品位薬液でも可能になりました。 Chem 20は、高品位薬液・超純水どちらにも対応します。SLS-20シリンジサンプラーを組み合わせることで、バッチ測定が可能です。 主な仕様 粒径区分：4チャンネル（20/50/70/100 nm） 流量：35 mLPM ± 10% PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、4-20 mA出力、RS-232 筐体：316Lステンレス鋼製 外寸：奥行508 x 幅427 x 高さ283 mm 重量：27.2 kg