SmarActの変位センサ

測定範囲: 13 mm - 5,000 mm

... 遠距離や再帰反射のターゲットに最適な平行ビームを持つ センサーヘッド。 C03は、ターゲットに再帰性反射材を使用し、長いワーキングディスタンスに最適化された センサーヘッドタイプです。プローブビームを拡大することで発散を抑え、ターゲットミラーで反射させた後、より多くの光パワーを収集することができます。 ビーム形状 - 平行光線 ビームウエスト径[µm] - 1590 角度可変範囲 [ - ± 0.013 環境適合性 - 大気、HV、UHV 代表的なターゲット ...

... 汎用小型 センサーヘッド。 C04はピコスケール干渉計の新しい標準 センサーヘッドで、ほとんどの場合C01に置き換わります。コリメートされた出力ビームとコンパクトな形状により、ほとんどの一般的な用途に適しています。 センサーヘッド ビーム形状 - 平行光 ビームウエスト径 [µm] - 350 作動距離 [mm] - 13 ... 500 角度動作範囲 [ - ± 0.075 環境適合性 - 空気、HV、UHV 代表的なターゲット ...

... 短い動きにも対応する高い角度公差を持つ センサーヘッド。 F04は世界と融合しています。大きな角度公差を提供しながらも、数 センチメートルに及ぶ動きの追跡が可能です。 センサーヘッド ビーム形状 - フォーカス 焦点距離 [mm] - 70 (カスタマイズ可能) ビームウエスト径[µm] - 100 ** - 70 (カスタマイズ可能) ワーキングディスタンス [mm] - 70 ± 10 角度動作範囲 ...

測定範囲: 10 mm

... アライメント公差の高い集束ビームを持つ センサーヘッド。 F01はプローブビームを集光した センサーヘッドタイプです。これにより、小さなターゲットの 変位を測定することができます。さらに、この センサーヘッドは高い角度公差を提供します。 センサーヘッド ビーム形状 - 集束 焦点距離 [mm] - 10（カスタマイズ可能） ビームウエスト径[µm] ...

測定範囲: 10 mm

... 円筒形のターゲットに対応した集光ビームを持つ センサーヘッド。 L01は、PICOSCALE干渉計用の センサヘッドです。ターゲットビームをシリンダーレンズで一軸にのみ集光し、ラインフォーカスを発生させます。このため、直交する軸の直径は大きくても、集光軸の角度範囲は比較的広くなっています。このような センサヘッドは、回転する円柱状の物体の偏心運動を測定するために使用され、回転軸の傾きなどの揺れに対して鈍感である。 ビーム形状 ...

測定範囲: 13 mm - 650 mm

... のPICOSCALE C01 センサーヘッドには、ビームスプリッターの1つのポートが干渉計用として使用されていま せん。通常、ビームスプリッターのこの部分は粗く研磨されており、アライメント用のビューポートとして使用できます（回路図参照）。このビューポートを以下ではSmarAlignウィンドウと呼びます。 ピコスケールのパイロットレーザービームを作動させると、可視光を使ってターゲットミラーまでの伝搬経路をトレースし、 センサーヘッドに反射させることができます。反射ビームが センサーヘッドに当たると、SmarAlign ...