角度調整可能変位センサ L01

リニア非接触式レーザー

円筒形のターゲットに対応した集光ビームを持つセンサーヘッド。 L01は、PICOSCALE干渉計用のセンサヘッドです。ターゲットビームをシリンダーレンズで一軸にのみ集光し、ラインフォーカスを発生させます。このため、直交する軸の直径は大きくても、集光軸の角度範囲は比較的広くなっています。このようなセンサヘッドは、回転する円柱状の物体の偏心運動を測定するために使用され、回転軸の傾きなどの揺れに対して鈍感である。 ビーム形状 - 直線集光型 焦点距離[mm] - 30または50 ビームウエスト径[µm] - 50 x 1590 角度可変範囲 [ - 集光軸にそって±1.3 環境適合性 - 大気、HV、UHV 代表的なターゲット - 円柱状のサンプル メカニカル 寸法[mm] - 9 x 26 (直径 x 長さ)