アライメント公差の高い集束ビームを持つセンサーヘッド。
F01はプローブビームを集光したセンサーヘッドタイプです。これにより、小さなターゲットの変位を測定することができます。さらに、このセンサーヘッドは高い角度公差を提供します。
センサーヘッド
ビーム形状 - 集束
焦点距離 [mm] - 10(カスタマイズ可能)
ビームウエスト径[µm] - 28 ※1
ワーキングディスタンス[mm] - 10 ± 0.5 * *(カスタマイズ可能
角度動作範囲 [ - ± 2 *] - ± 0.5
環境適合性 - 空気、HV、UHV
代表的なターゲット - 小型サンプル
メカニカル
寸法 [mm] - 6 x 21 (Ø x L)
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