STEINMEYERの自動配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.5 µm
ストローク: 50 mm - 200 mm
速度: 30 mm/s

... 高精度自動光学検査用XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能： - 高精度自動検査プロセスに最適 - 0.3 µmまでの高い繰り返し精度 - 測定誤差を3μm以下に低減 この3軸位置決めシステムは、XYステージがZ軸上のセンサーやカメラに対して極めて低いピッチ誤差とヨー誤差で測定対象物を移動させるような高精度測定アプリケーション向けに開発されました。例えば、高さのある部品の測定や3Dプロファイルの記録などがこれにあたります。 仕様 - ...

繰返し精度: 2 µm
ストローク: 65 mm
速度: 25 mm/s

... XYラボラトリーアナリティクスシステム、センサー用ホルダー、XYステージ、アパーチャー付き カスタマイズ可能 - 高解像度分析、スキャニング、顕微鏡、測定作業のセットアップと拡張に最適 - センサーまたはカメラ用アタッチメント - 2 µmまでの高い繰り返し精度 - μmの安定性により、最高の解像度と詳細なイメージングを実現 - 0.3µmの完璧な平坦度により、5kgまでの中荷重に対応 仕様 - ...

繰返し精度: 1, 0.8 µm
積載量: 5 kg
ストローク: 5, 15 mm

... MP410-3 10E-6 mbarまでの高真空アライナー カスタマイズ可能 - 10-6mbarまでの真空中での搬送測定に最適 - 開口部235mmの大型試料に対応する設計 - 1 µmまでの高い繰り返し精度、5 kgの荷重容量 - バックラッシュのないボールねじ1214の使用による理想的な力の伝達 - 正確な動作パラメータで最適化された価格性能比 このアライナーでは、平面内で15 mmの2次平行移動と、± 5°までの垂直周りの回転が可能です。R(Phi)の動きはXYの組み合わせから得られます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4, 0.7 µm
積載量: 28, 10, 0.5 kg
ストローク: 3, 5 mm

... MP700-3 フラット3Dアライナー カスタマイズ可能： - 大型基板、マスク、フレームの高精度アライメントに最適 - 開口部730 x 730 mmの大型サンプルに最適 - 最大0.4 µm/±0.0002°の高繰り返し精度、28 kgまでの荷重に対応 - 990 x 1090 x 225 mmの超フラットデザイン - エアベアリングとダイレクトドライブによる低メンテナンス、低パーティクル このアライナーでは、平面内で±5mmの第2並進運動と±3°の垂直周りの回転が実現されています。R(Phi)の動きはXY軸の組み合わせの結果です。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 0.3 µm
積載量: 500 g
ストローク: 10 mm

... MP53-3 小型XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - コンパクトなアプリケーションに最適 - サブミクロンレンジの分解能 - 最大5Nの負荷容量 - 高精度位置決めによる信頼性と安定した品質 MP53位置決めシステムは、X、Y、Zモーション用の小型化された3軸システムで、移動範囲は10mmです。ピエゾモータを搭載し、数ナノメートルまでの位置決めが可能です。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.8 µm - 4 µm
積載量: 1 kg
ストローク: 25 mm - 25 mm

... MP63-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能 - 高分解能 - 限られた建設スペースに最適 - 最大10 Nの負荷容量 - 細径スピンドルによるアプリケーションの微調整 - プロファイルレールベアリングによる長寿命と高精度な動作 この小型X-Y-Zシステムは、スペースが限られた位置決めアプリケーションに最適です。細径スピンドルとの組み合わせにより、XYZステージは非常に高い分解能を実現します。同時に、この高精度位置決めシステムは、非常に優れた価格性能比を提供します。 ...

繰返し精度: 1.5 µm - 3.5 µm
積載量: 663 g
ストローク: 40 mm

... MP95-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能： - コンポーネントや追加軸のアライメントに最適 - XYZの移動量は最大40 mmで、コンパクトなサイズ（145 x 95 x 130 mm）を実現 - 非常に高分解能で、横3方向のステップ補正が可能 - 最大1.5 µmの繰り返し精度 XYZ位置決めシステムは、3台の小型リニアステージ（3 ...