レーザー配置システム

... XYZポジショニングシステムは、センサーヘッドを保持し、レーザービームをサンプル上にスキャンします。 XYZポジショニングシステムは、干渉計のプローブビームの位置を決め、関心領域上でスキャンするために使用されます。位置決めシステムは、コンパクトな保護筐体に収められた3台のSmarActクローズドループポジショナーを中心に構成されています。各ポジショナーの最大スキャン範囲は20mm、繰り返し精度は50nmです。センサーヘッドは、一番下のポジショナーに取り付けられています。XYZポジショナーは、直径25mmのポストに取り付けられており、異なる寸法のサンプルに対応するために高さを簡単に調整できます。また、ポジショニングシステムをポストから取り外し、カスタムセットアップや他の機器と組み合わせて使用することも可能です。 ...

... ズミ！」 シリーズ変位測定干渉計 ZMI！」 コンポーネントは、多種多様な構成で組み立てることができます。 以下のシステムの例は、ZMI で使用される一般的な構成を示しています。」 顧客. 2 軸システム 2 軸システム（真空） 3 軸システム フラットパネルアプリケーション ...

... BE-901型バーコードポジショニングシステムは、可視赤色レーザー光を用いて、恒久的に取り付けられたバーコードテープに対するBE-901の相対的な位置を決定する光学測定システムです。通常、BE-901は、その位置を決定するために、鉄道車両に取り付けられています。位置情報は、固定されたバーコード・テープの情報を用いてミリメートル単位で決定され、プライマリー・システムに提供されます。 インターフェイスプロフィバス、SSI 簡単なインストールと起動 直線および曲線トラックの読み取り 非接触位置測定 10,000mまでの位置検出が可能 パラメータ設定可能 ...

... 8ステーション半導体ウェーハインデクサ このシステムは、高温での2インチまたは3インチの半導体ウェーハのイオンビーム加工用に特別に設計されました。 これは、高精度 DC 電源と索引付けシステムを備えた卓上炉で構成されています。索引付けシステムは、ウェーハの位置を正確に制御し、実行ごとに8つのウェーハのバッチ処理を可能にします。 ウェーハはヒーターに回転し、イオンビーム加工が開始する前に数秒で加熱されます。 温度は、加熱されたウェーハの表面温度を読み取る光学式高温計によって制御されます。 ...