STEINMEYERのXYZ軸配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロン ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.5 µm - 2 µm
ストローク: 100 mm - 600 mm
速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... kgのプロセスヘッド用Z軸 - 繰り返し精度：0.5 - ± 2 µm - 速度: 100 - 200 mm (XY) / 25 - 50 mm (Z) - 最大荷重20 N (Z) - 駆動：リニアモーター（アイアンレス）、エアベアリング（XY）｜ボールネジ、DCモーター、クロスローラー（Z） - フィードバック：リニアスケール - モーションコントローラFMC-250/280、FMC-400/450、ACS、PLC統合 カスタマイズオプション - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2.5 µm
積載量: 25 kg
ストローク: 200 mm - 700 mm

... 3D自動化用XYZガントリー・システム カスタマイズ可能 - 700 x 700 x 200 mmの大型移動により、自動化されたハイスループット・アプリケーションに最適 - 最大1000 mm/sの高速移動により、高ダイナミックで高速なサンプル処理が可能 - 繰り返し精度0.3 µmまでの高精度位置決め - 高い再現性と分解能を実現する優れた安定性 この3軸位置決めシステムは、様々なアプリケーションの生産・検査工程に柔軟に対応することができます。Z軸上のカスタマイズされた加工ヘッドまたは測定ヘッド ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 検査用XYZガントリー カスタマイズ可能 - 最大450 x 1000 x 1000 mmの大型部品の高精度検査に最適 - 極めて高い剛性により、ナノメートル領域の分解能を実現 - お客様固有の顕微鏡、カメラ、センサーに個別に対応 - 最高速度2420 mm/sの卓越した高スループット - 可変パラメータ下でのエアベアリングによる低メンテナンスとフレキシブルな24時間365日稼動 このXYZ位置決めシステムは、450 ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.5 µm
ストローク: 100 mm - 700 mm
速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ多軸ガントリーシステム カスタマイズ可能 - インライン品質管理、高速ピックアンドプレース、複合アプリケーションに最適 - クロスヘッドに自由に設定可能な3軸を装備し、あらゆるオーバーヘッドアプリケーションに対応 - 500 x 700 x 100 mmの移動量による高スループット、1000 mmまで拡張可能 - 0.4 ...

繰返し精度: 0.7 µm - 1 µm
積載量: max 15.0 kg
ストローク: 200 mm - 1,300 mm

... レーザーアプリケーションのためのXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度でダイナミックなアプリケーションに最適（例：レーザー接合、医療技術におけるレーザーマイクロアプリケーションなど - 800 x 1300 x 200 mmの非常に広い移動範囲 - 繰り返し精度0.8 µmまでの高精度位置決めによる信頼性と一貫した品質 - 一体型リニアモーターにより、高加速度・高速度と高精度を同時に保証 このガントリーは、1300 x ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 10 mm - 600 mm

... プロセスを可能にします。1つ目のZ軸は固定トラバース上にあり、2つ目のセンサー/顕微鏡はアパーチャ下のZ軸に取り付けられています。エアベアリングサンプルホルダーは、Z軸上の2つのセンサー（それぞれ100mmの高さ調整が可能）により、開口部までXY方向にサンプルを移動させます。 仕様 - 標準システムPLT165-DLM（XY）／PMT160-DC（Z1、Z2） - ...

繰返し精度: 2.5 µm - 6.5 µm
ストローク: 50 µm - 275 µm
速度: 30 mm/s - 50 mm/s

... ウェハ検査、顕微鏡用XYZ AFMガントリー カスタマイズ可能 - 振動の影響を受けない高剛性・高精度な測定に最適 - 150 x 275 x 50 mmの移動量による高いスループット、550 x 1550 x 50 mmまで拡張可能 - 静止状態で5nm以上の極めて高い安定性 - 磨耗のないエアベアリングの使用による卓越した長寿命 この高剛性XYZガントリーは、特に大きなガラス試料の高精度原子間力顕微鏡（AFM）検査用に特別に設計されています。U字型の試料台の上には、カスタマイズされたAFM ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
速度: 150 mm/s - 1,500 mm/s

... 150 mm/s、加速度2 m/s2でサイクルタイムを短縮 - 1μmまでの繰り返し精度による正確な測定結果と大幅な品質向上 - 花崗岩構造での迅速なシステム交換による、24時間365日の低メンテナンスと柔軟なメンテナンスコンセプト この検査システム（ここではカバーなし）は、自動品質保証用に特別に設計されています。位置決めシステムにより、2つの直線軸に沿って位置決めが可能です。高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 ...