ガス監視設備

半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-400 Series は、排ガス成分（SiF4、CF4）をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス使用量および・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。 2成分同時モニタリング 高感度 ...

... PPM100は、SRS残留ガス分析計用のスタンドアロン型コントローラー/モニターです。SRS RGAからの分圧と、最大4つのキャパシタンスマノメーターからの全圧を測定します。タッチスクリーンLCDディスプレイでグラフィカルな出力が可能です。PPM100は、8チャンネルプロセス制御機能、4つのアナログI/Oポート、RS-232、USB、GPIBコンピュータインターフェイス、ウェブインターフェイスを備えています。 残留ガス分析 PPM100は、1台のSRS RGAを監視・制御するために設計されています。メニュー駆動のユーザーインターフェースにより、オペレーターはフロントパネルからRGAパラメータを簡単にプログラムできます（つまり、ホストPCは必要ありません）。RGAのデータは、アナログスキャン、部分圧力対時間、リークトレンド（音声信号付き）、または単一質量読み取り値として表示することができます。このデータは、アラーム、プロセス制御リレー、アナログポートにリンクして、特定の成分ガスのクローズドループ制御を行うことも可能です。 スクリーンショット1 アナログI/O PPM100には、設定可能な4つのアナログI/Oポートがあります。これらは、ヒーター、アクチュエーター、イオンソース、プログラマブルロジックコントローラー、スロットルコントローラーなどの真空補助機器を制御する出力として使用することができます。入力としては、最大4つのキャパシタンスマノメーターを同時にモニターすることができます。 データロギング すべてのゲージ（およびすべてのアナログ入力）からのデータは、ユーザーが定義したレートで保存されます。典型的な用途としては、ポンプダウンやベントカーブの取得、蒸着プロセス中のマスフローコントローラー信号の監視、ベークアウトや熱処理中の温度やその他の時間依存変数の監視などが挙げられます。 ...

... - 充電ステーション付きの小型サイズ。 - 持ち運び可能なデザイン。 - 7つのLEDで一酸化炭素濃度を表示。 - 一酸化炭素濃度が危険レベルになると、黄色と赤色のLEDで警告。 - パワフルな充電式ポリマーリチウムバッテリーで最大75時間の連続使用が可能。 概要 ECnose一酸化炭素モニターは、いつでも、どこでも、あなたの環境の一酸化炭素レベルを知ることができます。 ECnoseは、使いやすく信頼性の高い一酸化炭素ガスモニターです。ECnoseは、有害なガスや汚れた空気を正確に嗅ぎ分ける鼻を強化します。 人間の鼻は嗅覚に順応しやすいため、しばらくすると、ガスがまだ存在していても、その臭いを感じなくなることがありますが、ECnoseは鼻が反応しなくても、ガスを検知し続けます！ ...

... 高度なデータ管理による正確なガスモニタリングカスタムソフトウェアとセンサーを使用したモニタリング機能をご覧ください。 ガスモニタリングの説明 ガスモニタリングは当社製品に欠かせないものです。必要な数値をリアルタイムでお知らせします。このサービスは、携帯電話、タブレット、ラップトップなど、お客様のデバイスで実行できます。当社のソフトウェアには、オペレーションの特定の側面についてお知らせするアラームシステムがあらかじめ組み込まれています。特定の値がゲージから外れると、テキストメッセージや電子メールなどを送信することができます。私たちだけでなく、お客様のチームにも警告を発します。ほとんどの場合、何かおかしいと感じたら、事前にお客様にご連絡し、問題を解決します。 ガス・モニタリング・アプリケーション ガス・モニタリングの用途は無限です。あらゆる産業で、あらゆる用途に適用できます。測定値はアプリケーションによって異なります。例えば、レーザー切断業界では、最も一般的に測定されるのはガス純度、圧力、露点ですが、魚の養殖では、温度、酸化、塩分です。 カスタム・ガス・モニタリング 必要であれば、特定の値をモニターするためにソフトウェアとハードウェアを設計または変更します。特別な要件に対応したカスタム・モニタリング方法を開発するために、お客様と協力しています。 最も一般的な監視値 - ...