内蔵型回路用測定システム

... 光学式限界寸法（CD）および形状測定システム SpectraShape™ 12k寸法測定システムは、ナノシート、finFET、DRAM、垂直スタックNAND構造、および最先端設計ノードの集積回路上のその他の複雑なフィーチャーの臨界寸法（CD）および3次元形状の完全な特性評価と監視に使用されます。SpectraShape 12kは、光学技術と特許取得済みアルゴリズムの大幅な進歩により、さまざまなプロセス層にわたるクリティカル・デバイス・パラメータ（クリティカル・ディメンション、高誘電率およびメタルゲート・リセス、側壁角度、レジスト高さ、ハードマスク高さ、ピッチウォーキング、オンデバイス・オーバーレイなど）の微妙なばらつきを特定します。改良されたステージと高スループット動作を可能にする新しい測定モジュールにより、SpectraShape ...

... LMS IPRO7レチクルレジストレーション計測システムは、7nmデザインノードのEUVおよび光学レチクルのパターン配置性能を正確かつ迅速に検証できるように設計されています。LMS IPRO7は、レチクルのパターン配置エラーの包括的な特性評価を提供することで、先進的なデザインノード・レチクルの開発および製造において、電子ビームマスク・ライターの補正やレチクルの品質管理に使用されるデータを生成します。KLA独自のモデルベース計測アルゴリズムを使用することで、LMS IPRO7はターゲットと複数のオンデバイス・パターン・フィーチャの両方のパターン配置エラーを高精度で測定し、ICファブにおけるデバイスのオーバーレイ・エラーに対するレチクル関連の寄与の特性評価と低減を可能にします。 アプリケーション レチクル認定、出荷レチクル品質チェック、マスクライター認定とモニタリング、レチクルプロセスモニタリング、ウェハパターン制御 関連製品 標準レジストレーションマークとオンデバイスパターンフィーチャーの両方の測定をサポートする10nmデザインノード用マスク計測システム。 32nm/28nmデザインノード用マスク測定システム。LMS ...

... Mシリーズ セミオートビデオ測定システム オートフォーカス機能付き、操作が簡単 Z軸：オート/ハイウィンリニアガイド 特徴 Z軸：オート、レンズ：オートズーム。 高精度の花崗岩ベース、カラム、高い安定性と剛性を確保する。 撮像装置の測定器ソフトウェア、強力な、簡単な測定。 データ処理、表示、入力、出力機能の様々な✦。 ソフトウエアによる調光機能で、光が飽和しているかどうかを知ることができる。 底面光源ランプにより、イメージング効果をより鮮明にします。 仕様 - 測定範囲(mm)(X-Y-Z) ...

... 自動ビデオ測定システム Gシリーズ 自動バッチ測定で両手が自由に使える Gシリーズは、視覚と触覚の両方を必要とする様々な工業検査アプリケーションに最適です。 特徴 高精度自動測定、自動レンズ、高精度自動可変時間。 エアベアリングガイドレール、摩耗や損傷なし、精密研削リードスクリュー、高速、クリアランスなし、敏感で信頼性の高い、正確な位置決め、高い運動精度。 ジョイスティックコントロール自動機能：自動フォーカス、自動測定自動エッジ、自動的にランプの光の調整、自動スイッチの比率は、測定の高効率を確保する。 ソフトウェアは操作で便利、国際的な顕微鏡のオフィス ...

... Mシリーズ セミオートビデオ測定システム オートフォーカス機能付き、操作が簡単 Z軸：オート/ハイウィンリニアガイド 特徴 Z軸：オート、レンズ：オートズーム。 高精度の花崗岩ベース、カラム、高い安定性と剛性を確保する。 撮像装置の測定器ソフトウェア、強力な、簡単な測定。 データ処理、表示、入力、出力機能の様々な✦。 ソフトウエアによる調光機能で、光が飽和しているかどうかを知ることができる。 底面光源ランプにより、イメージング効果をより鮮明にします。 仕様 - 測定範囲(mm)(X-Y-Z)：200x100x200 画像と測定 - ...

... Mシリーズ セミオートビデオ測定システム オートフォーカス機能付き、操作が簡単 Z軸：オート/ハイウィンリニアガイド 特徴 Z軸：オート、レンズ：オートズーム。 高精度の花崗岩ベース、カラム、高い安定性と剛性を確保する。 撮像装置の測定器ソフトウェア、強力な、簡単な測定。 データ処理、表示、入力、出力機能の様々な✦。 ソフトウエアによる調光機能で、光が飽和しているかどうかを知ることができる。 底面光源ランプにより、イメージング効果をより鮮明にします。 仕様 - 測定範囲(mm)(X-Y-Z) ...

... Mシリーズ セミオートビデオ測定システム オートフォーカス機能付き、操作が簡単 Z軸：オート/ハイウィンリニアガイド 特徴 Z軸：オート、レンズ：オートズーム。 高精度の花崗岩ベース、カラム、高い安定性と剛性を確保する。 撮像装置の測定器ソフトウェア、強力な、簡単な測定。 データ処理、表示、入力、出力機能の様々な✦。 ソフトウエアによる調光機能で、光が飽和しているかどうかを知ることができる。 底面光源ランプにより、イメージング効果をより鮮明にします。 仕様 - 測定範囲(mm)(X-Y-Z) ...

... 自動ビデオ測定システム Gシリーズ 自動バッチ測定で両手が自由に使える Gシリーズは、視覚と触覚の両方を必要とする様々な工業検査アプリケーションに最適です。 特徴 高精度自動測定、自動レンズ、高精度自動可変時間。 エアベアリングガイドレール、摩耗や損傷なし、精密研削リードスクリュー、高速、クリアランスなし、敏感で信頼性の高い、正確な位置決め、高い運動精度。 ジョイスティック制御の自動機能：自動フォーカス、自動測定自動エッジ、自動的にランプの光の調整、自動スイッチの比率は、測定の高効率を確保する。 ソフトウェアは操作で便利、国際的な顕微鏡のオフィス ...

... 自動ビデオ測定システム Gシリーズ 自動バッチ測定で両手が自由に使える Gシリーズは、視覚と触覚の両方を必要とする様々な工業検査アプリケーションに最適です。 特徴 高精度自動測定、自動レンズ、高精度自動可変時間。 エアベアリングガイドレール、摩耗や損傷なし、精密研削リードスクリュー、高速、クリアランスなし、敏感で信頼性の高い、正確な位置決め、高い運動精度。 ジョイスティックコントロール自動機能：自動フォーカス、自動測定自動エッジ、自動的にランプの光の調整、自動スイッチの比率は、測定の高効率を確保する。 ソフトウェアは操作で便利、国際的な顕微鏡のオフィス ...