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真空範囲: 0.2 mbar - 1,000 mbar
... SPG5A-6Aは、サファイア式静電容量圧力センサを採用し、高精度・高信頼性、小型・軽量を実現した静電容量ダイヤフラム真空計です。自己発熱モデルおよび非自己発熱モデルが利用可能です。SPG5A/6Aは、半導体製造に特に適しています。 特長 *-単結晶サファイアを使用し、耐食性、高温 性に優れ、耐食性、耐熱性の単結晶サファイア圧力センシング材料も優れた機械的特性を持っています。静電容量測定は高温使用時でも高い再現性 *-高精度測定 高度な信号処理技術により、優れた温度特性と直線性に貢献 ...
真空範囲: 0.00013 mbar - 1,013.25 mbar
... 概要
HVG-PR ピラニ式熱真空計は、大気圧から0.1 mTorr（1.3 x 10-4 mbar / 1.3 x 10-2 Pa）までの圧力を測定します。HVG-2020B と同等の高精度ピラニセンサー技術を採用しており、OEM用途、システム統合、プロセス自動化に適したコンパクトでコスト効率の高い筐体で提供されます。
主な特長
- 測定範囲：大気圧〜0.1 mTorr（1.3 x 10-4 mbar / 1.3 x 10-2 Pa）
- センサー：高精度ピラニ熱センサー（HVG-2020B
真空範囲: 0 bar - 0.2 bar
... 出力：4-20mA。0-5V.RS485など 精度：±0.5%FS。±1%FS 特徴 - 卓越した長期安定性 - 0.005barから0.2barまでの範囲 - 便利な設置と長期安定性 - マルチ出力、プロセス接続オプション - コンパクトサイズ 製品紹介 SPT430 真空計はあらゆる低圧を測定するために特に開発されます。それによい過圧、よい信頼性、小さい温度の漂流、便利な取付けおよび長期にわたる安定性があります。それは石油、化学工業、薬、冶金学、発電所、鉱山、都市給排水および水文学、等の圧力測定で広く利用されています。それはまた低圧および高圧流れる圧力の正確な測定のためによく使用されます。 ...
真空範囲: 1 mbar - 1,100 mbar
... CDG045D2 INFICONエッジ容量ダイアフラムゲージは、過酷な製造環境向けに設計された高精度真空測定器です。 実績のある温度制御、耐腐食性、超純セラミックセンサは、最先端のゼロ安定性と組み合わせて、長年にわたり優れたスパン安定性を提供します。 Edgeには、INFICON特許取得済みの独自のセンサーシールドが付属しており、望ましくないプロセス副産物からゲージを保護します。 高度なエレクトロニクスは、あらゆるアプリケーション向けに幅広い設定可能なシグナル・コンディショニングと、オプションのEtherCATフィールドバス・インターフェースを提供します。 ...
Eurovacuum B.V.
真空範囲: 0.1 mbar - 1,000 mbar
... CDG100D INFICON SKY CDG100Dマノメーターは、正確な総圧力測定と制御のための最良の選択です。 CDG100Dゲージは100℃で温度制御され、要求の厳しい半導体およびプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。 これらの製品は、100 mTorr ～ 1000 Torr のフルスケール範囲に対応しており、すべての一般的なフランジタイプとフィールドバスインターフェースを備え、0 ～ 10 V のリニア、ガスタイプに依存しない圧力信号を提供します。 INFICONキャパシタンスマノメータは、耐腐食性に優れた超純アルミナセラミックダイヤフラムを使用しています。 ...
Eurovacuum B.V.
真空範囲: 0 mbar - 0.005 mbar
... MAG050 & MAG060 インフィコンパッシブ冷陰極ゲージヘッド MAG050 および MAG060 は、インフィコン真空ゲージコントローラ VGC083C と併用するように設計されています。 これらの製品は、コンパクトな金属設計で構成され、シンプルで堅牢なゲージで、多くの産業アプリケーションに適しています。 ゲージヘッドMAG050はエラストマー内部シールを使用し、MAG060ゲージヘッドはUHV範囲での圧力測定を可能にする金属シールを使用しています。ゲージヘッドアセンブリは簡単に分解して清掃でき、最小限のダウンタイムで長期間使用できます。 ...
Eurovacuum B.V.
真空範囲: 0 mbar - 1,000 mbar
... BPG402 ATM 超高真空ゲージ INFICONベヤードアルパートピラニコンビネーションゲージBPG402-Sは、5×10-10mbarから大気（3.8×10-10 Torrから大気まで）までの2つのゲージとして機能します。 テクノロジーを組み合わせることで、インストール、セットアップ、統合の複雑さが軽減されます。 経済的なパッケージでベース圧力測定を行う手頃な価格で再現可能なプロセスのために、酸化イットリウムコーティングされたイリジウムフィラメントを2個搭載したBPG402-Sをお選びください。 ...
Eurovacuum B.V.
真空範囲: 0 mbar - 0.027 mbar
... BAG402 中～超高真空ゲージ INFICONシングルベアドアルパートホットイオンゲージバッグ402は、5×10-10mbarから2.7×10-2mbar（3.75×10-10トール～5×10-2トール）までの幅広い測定範囲をカバーします。 INFICON BAG402は、コンパクトなアクティブゲージパッケージでベース圧力測定を行うための手頃な価格で再現可能なプロセスにお選びください。 ユニークなサポートされたデュアルフィラメントは、優れた精度、長期安定性、長寿命を提供します。 利点 測定範囲 ...
Eurovacuum B.V.
真空範囲: 1 mbar - 1,000 mbar
... CDG160D INFICON SKY CDG160D高温マノメータは、正確な全圧測定と制御のための最良の選択です。 CDG160Dゲージは160℃で温度制御され、要求の厳しい半導体およびプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。 これらの製品は、すべての一般的なフランジタイプとフィールドバスインターフェースを備え、1Torrから1000Torrまでのフルスケール範囲で入手可能で、0～10Vのリニアなガスタイプに依存しない圧力信号を提供します。 INFICONキャパシタンスマノメータは、耐腐食性に優れた超純アルミナセラミックダイヤフラムを使用しています。 ...
Eurovacuum B.V.