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... 概要 光学コーティングのための最も革新的な原子層蒸着システム、レイボルド・オプティクスALD 1200を体験してください。プラズマエンハンスド空間ALDにより、最大8x 300 mm基板上の両面超均一膜を実現します。このシステムは、微細構造および曲面3D基板上に、超薄膜、高密度、応力制御されたコーティングをシングルパスで両面成膜します。最大300 mmの基板8枚への高い成膜レート、50～230℃のプロセス温度、および完全にカスタマイズ可能なウェーハハンドリングソリューションにより、クラス最高の適合性と半導体グレードのスループットおよび清浄性を兼ね備えています。 主な利点
- あらゆる面で精密：ナノ構造および曲面3D基板上の超薄膜コンフォーマルコーティング
- 高スループットに最適化：気体の空間的分離により成長率が向上します：
- ニーズに合わせて調整：反転なしの両面コーティングにより、サイクル時間とパーティクルリスクを低減
- 材料の敏捷性：コスト効率の高いスケーリングのための効率的なプリカーサー利用による高い材料柔軟性
- その場での光学モニタリング：OMS
... ・高いシート抵抗に対応した技術的ソリューション。 ・独自の二重層ネスト構造を採用した炉扉により、炉口でのメタリン酸の問題を効果的に解消。 ・独自の温度ゾーン設定により、炉口および炉端におけるシート抵抗の均一性を効果的に確保。 ・高速かつ安定した一体型モジュールボート搬送機構。 ・インテリジェントな自動制御。 ・独自の知的財産権を有するMESソフトウェア。 ・S.Cスマート生産管理システムとの連携。 ...
... ハードコーティング装置は、超高硬度の膜をめっきするために特別に開発された装置です。金型、工具、ナイフなどの産業に適しており、表面により耐摩耗性、耐腐食性のある膜を得ることができ、工具の使用性を向上させることができます。ナイフの耐用年数は3~10倍、金型の耐用年数は5~10倍になります。 ...
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... DLC（Diamond Like Carbon Coating）コーティング装置は、エンジン部品、非鉄金属の切削工具、摺動シール部品、繊維産業などの産業分野で広く使用されています。 このシリーズの装置は、様々なDLCコーティングに適しており、お客様のニーズに応じて、フィルター付きアークイオンプレーティング、アンバランスマグネトロンスパッタリング、PE-CVDなどの組み合わせを装備することができます。自動車部品製造、機械部品、金型、ベアリング、打ち抜き絞り型、金型、航空宇宙部品などに適しています。 当社が開発した「中間層技術」のDLC膜は、中間層に着目することで、良好な密着性、耐摩耗性、高硬度、低摩擦係数、低表面粗さを実現し、DLC膜がより優れた性能を得ることができます。低温成膜技術のボトルネックを解消することに成功し、DLC膜がより多くの分野で展開できるようになりました。 ...
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... マルチアーク式イオンプレーティング装置は、成膜速度が速い、イオン化率が高い、イオンエネルギーが大きい、膜の結合力が良い、装置の操作が簡単、ランニングコストが低い、生産効率が高いなどの特徴があります。ミクロンの厚さのハードコーティングは、効果的にメッキされている製品の外観を保護することができます。低温コーティングプロセスは、様々な材料への蒸着を実現し、複数のコーティングプロセスの組み合わせにより、より多くの色を作り出すことができます。 高真空ロール・ツー・ロール・コーティング・マシンは、高効率、安定性、コスト効率を兼ね備えています。電子ペーパー、フレキシブル回路基板、太陽電池、水・酸素バリアフィルム、光学コーティング・タッチパネルなどの業界で、様々なガラス基板やフレキシブル基板に適しています。また、タバコパックのダイレクトコーティング紙、レーザー、偽造防止、高度なホットスタンプ材料、ハイエンドカラー印刷パッケージコーティング、完全互換メディアコーティング、断熱・省エネフィルム、シールドフィルム、導電性フィルムなどのフィルムにも適用できます。機械加工可能な材料は以下の通りです。ABS、PS、PP、PC、PVC、TPU、ナイロン、セラミックス、金属など。 ...
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... Conjoinedコーティング装置は、ソースの強さに基づいて、高品質、高効率、高安定性を確保し、より完璧な真空コーティング量産ソリューションを立ち上げます。連続コーティングは、コーティングチャンバーが大気にさらされるのを防ぐことができ、コーティングプロセスの安定性を確保するだけでなく、ポンプの時間を節約し、生産効率を倍増させることができます。真空ユニットの簡略化と最適化された構成による結合装置は、同じ数の製品をめっきする場合のエネルギー消費量は、単一装置のエネルギー消費量の約60％であり、効果的にエネルギーを節約し、企業のコストを削減し、設備投資の回収期間を大幅に短縮することができます。 ...
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... 中周波マグネトロンスパッタリングコーティング装置は、速いスパッタリング速度と高い成膜速度という利点があり、ターゲットアークに当たることを完全に克服し、ポイズニング現象を効果的に制御することができます。合金膜、多層複合膜などを金属製品や非金属製品の表面にメッキすることができます。美しい塗膜、微細な表面、耐摩耗性、耐色性などの特性を持ち、様々な色のメッキを施すことができます。現在では、国内の有名OEMメーカーに広く採用されています。携帯電話ケース、パソコンアクセサリー、マグネシウム合金部品、高級浴室金具などの表面処理・加工に広く使われています。 ...
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... 時計用ジュエリーコーティング装置は、カソードアーク、高出力中間周波スパッタリングとDCスパッタリング、補助高電圧イオンボンバードとパルスバイアスにより、コーティングが緻密になり、密着性と光沢が向上します。装置には、金属膜、複合膜、多層複合膜などのコーティングが可能です。 ...
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