多軸圧電アクチュエータ

ストローク: 1 µm
推進力: 10 N - 150 N

... - 鉛フリーの結晶性アクチュエータ材料 - 高ダイナミクス - 位置制御なしでの動作に最適 - 低電力消費 - 最小限の長さ公差 最大±500Vのバイポーラ動作電圧、ヒステリシスのない動作（0.2%未満）。クリープがないPicoactuator® は、縦方向およびせん断方向のアクチュエータとして、高さ 20 mm、最大移動量 ±1.5 µm まで設定可能です。 - 10-9 hPaまでのUHVに対応 - 内孔 - チップ Picoactuator® の縦型およびせん断型アクチュエータは、結晶性圧電材料で構成されています。せん断アクチュエータの比変位はアクチュエータ長の±0.02 ...

ストローク: 1, 3, 5, 10 µm
推進力: 20 N - 300 N

... 小型多軸アクチュエーター - 単軸および多軸バージョン - 移動範囲：10×10×10 µm - 高い信頼性>109サイクル以上 - ピコメートルの分解能 - 短いリードタイム ピエゾ式シアーアクチュエーター 動作電圧 -250 ～ 250 V.ピエゾ素子のせん断効果を利用した横方向の変位。最小限の電力で優れた運動性能を発揮します。 内側に穴を開けたタイプや、10-9hPaまでの極低温・超高真空環境で使用できるタイプもあります。 適用分野 - 産業および研究 - ...

ストローク: 1, 3 µm
推進力: 20 N - 50 N

... 極低温・超高真空環境用小型アクチュエータ - 10-9hPaまでの超高真空に対応 - 極低温環境用 - 極めて高い信頼性>109サイクル以上 - ピコメーター分解能 - µsの応答時間 ピエゾ式シアーアクチュエーター 動作電圧 -250 ～ 250 V。10-9 hPa までの極低温および超高真空環境での使用に適しています。横方向の変位は圧電シア効果に基づいています。最小限の電力で優れたダイナミクスを実現。 内側の穴を利用した多軸動作のバリエーションもあります。 適用分野 - ...

ストローク: 3, 5, 10 µm
推進力: 20 N - 200 N

... 内孔式小型多軸アクチュエータ - 単軸および多軸バージョン - 移動範囲は10×10×10 µm - 極めて高い信頼性>109サイクル以上 - ピコメートルの分解能 - 短いリードタイム 内側に穴の開いたピエゾ式せん断アクチュエーター 動作電圧 -250 ～ 250 V.ピエゾ素子のせん断効果を利用した横方向の変位。最小限の電力で優れた運動性能を発揮します。 内側に穴のないタイプや、10-9hPaまでの極低温・超高真空環境で使用できるタイプもあります。 可能な変更 - ...