太陽光貯蔵マシン

... ・低圧・高温壁プロセス特性により、膜の均一性が向上し、緻密性も良好です。 ・LPCVDプロセスにより、基板の積載密度が高くても成膜速度への影響が少なく、単一チューブ内で大きな積載能力を発揮します。 ・温度ゾーンを多く設けることで、ウェーハ間の均一性を確実に確保します。 ・空気の流れの減衰効果を補正するため、各セグメントの空気導入量を個別に調整可能です。 ...

... 主に、結晶シリコン太陽電池の製造における最高品質の反射防止膜の生成や、太陽電池の裏面のパッシベーション膜の成膜に使用されます。 グラファイトボート＆ウェハー準備→窒素導入→グラファイトボート投入→真空化、圧力テスト→アンモニア前洗浄、チェック→チューブ真空化、リークチェック、恒温→プレコート→コーティング→真空化、圧力テスト→チューブ洗浄、窒素導入→グラファイトボート降ろし。 - SiOxNy PERCプロセスに対応。 - ダブル冷却水フランジのシール技術。 - 特許取得済みの内部加熱技術 - ...

... 本装置は、結晶系太陽電池のウェーハ前面に熱原子層堆積法（ALD）によりAl2O3薄膜を堆積させ、パッシベーション層を形成することで効率を高めるものです。 仕様 ハイスループット：12,800枚/時（1,600枚/艇）。 サイクルタイム：30分 稼働率：97 ...

... Infinity IBDシステムは、高密度・低欠陥の薄膜を極めて高い精度と均一性で実現します。また、イオンエネルギーの独立制御が可能なため、フレーキングによる汚染が極めて少なく、正確な薄膜スペックを実現することができます。 バイアスターゲットスパッタモジュールは、薄膜界面の制御に優れ、イオン電流とエネルギーの独立した制御が可能で、低圧で動作します。これにより、ビームのオーバースピルによる汚染や散乱を排除し、表面損傷を防ぎ、厳密な応力制御を可能にし、高密度で欠陥のない薄膜を形成することができます。 BTSモジュールは、ターゲット全体のサイズを小さくすることができるターゲット使用率の向上により、所有コストを改善します。システム設計により、大型基板上でも回転することなく優れた均一性を実現します。このモジュールは、他のIBDプラットフォームと比較して、パルススパッタリングと高い成膜レートを提供します。 これらのユニークな機能と利点はすべて、デントンの長期的なパートナーシップとサービスへのコミットメントに支えられています。デントンのエキスパートが、お客様のニーズや仕様に合わせた信頼性の高い構成を提案し、高いシステム稼働率と容易なメンテナンスを実現します。 酸化バナジウムマイクロボロメータ 精密光学部品（レーザー、赤外線検出器） VCSEL反射防止膜 高効率太陽電池 磁気記録用スピンバルブ フォーカルプレーンアレイ サーマルイメージング レーザーバーファセット ...