3軸ナノ配置システム

... 高精度自動光学検査用XYZ位置決めシステム｜ボールネジ、クロスローラー、DCモーター、リニア測定システム サブミクロンレンジの高安定な非接触光学測定が可能です。 この3軸位置決めシステムは、XYステージがZ軸上のセンサーやカメラに対して極めて低いピッチとヨーの誤差で測定物を移動させるような場合、高精度な測定アプリケーションのために開発されました。例えば、高さのある部品でも部品を測定したり、3次元プロファイルを記録する場合などがこれにあたります。XYZシステムは、花崗岩のガントリー上のKT310クロステーブルとPMT160リニアテーブルの耐久性のある標準軸で構成されています。 高精度で安定した測定結果 ...

... ナノメートル精度で物体と構造を位置決め、操作、加工、測定 - 世界で最も精密なナノ位置決めおよびナノ計測装置 - 測定および位置決め範囲 25 x 25 x 5 mm - 分解能0.1 nm - 最高精度の3次元位置決め測定システム - レーザーフォーカスセンサー、原子間力顕微鏡、白色光センサー、3Dマイクロスキャナーなどのプロービングシステム - オープンデバイスアーキテクチャーにより、カスタマイズされたセンサーの適用が可能 - NMM-1はPCソフトウェアで制御。ユーザーAPIが利用可能です。 三次元座標測定用のナノ位置決めおよびナノ測定機は、25 ...

... AFM用平面レーザー干渉計測・位置決めシステム - 最高精度の2.5D位置決め測定システム - 測定および位置決め範囲：表面Ø 100 mm - 横方向の測定分解能 ≤ 0.02 nm - 制御：3つのファイバー結合ディファレンシャル干渉計 - 干渉計の光源に波長633nmのHeNeレーザーを使用することにより、測定再現性を実現。 - プロービング測定システムとして原子間力顕微鏡を使用。 - オープンデバイスアーキテクチャーにより、お客様独自のセンサーの適用が可能 - ...