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差し込み長さ: 140 mm - 300 mm
... 基本情報
ZIROX の真空用酸素プローブは、ポテンショメトリックなジルコニア（ZrO2）固体電解質セルを測定素子として使用します。測定電極と参照電極間に生じる電圧は、酸素分圧比の対数に比例し、ネルンストの式により酸素分圧に換算できます。接続ヘッドにはヒーター制御、信号処理用電子回路および参照ガス供給用の膜ポンプが統合されています。
用途
低圧装置内の酸素分圧測定を目的としています。代表的な用途は、PVD、マグネトロンスパッタリングなどの真空プロセス、その他プラズマや表面処理プロセス、材料科学の研究用途です。
較正について
常圧用のZIROXプローブとは異なり、内蔵ヒーターの位置や測定電極周辺の圧力依存の熱条件により等温電極が実現できないため、真空プローブは較正フリーではありません。プロセス管理には経験的な較正で十分な場合が多いですが、正確な測定にはユーザーによるテスト較正が必要です。
技術仕様 ...