酸素プローブ

電子機器用測定用メンブレン

基本情報
ZIROX の真空用酸素プローブは、ポテンショメトリックなジルコニア（ZrO2）固体電解質セルを測定素子として使用します。測定電極と参照電極間に生じる電圧は、酸素分圧比の対数に比例し、ネルンストの式により酸素分圧に換算できます。接続ヘッドにはヒーター制御、信号処理用電子回路および参照ガス供給用の膜ポンプが統合されています。

用途
低圧装置内の酸素分圧測定を目的としています。代表的な用途は、PVD、マグネトロンスパッタリングなどの真空プロセス、その他プラズマや表面処理プロセス、材料科学の研究用途です。

較正について
常圧用のZIROXプローブとは異なり、内蔵ヒーターの位置や測定電極周辺の圧力依存の熱条件により等温電極が実現できないため、真空プローブは較正フリーではありません。プロセス管理には経験的な較正で十分な場合が多いですが、正確な測定にはユーザーによるテスト較正が必要です。

技術仕様 — 真空プローブ

• 挿入長さ：140...300 mm
• プローブ径：6 mm（保護管装着時 16 mm）
• 質量：1.5 kg
• 接続ヘッド寸法：150 x 63 x 35 mm
• 保護等級：IP54
• フランジ：KF40（他のフランジは要相談）
• フランジ部最大温度：60 °C
• 電源：24 V DC ± 10 %
• 電流消費：1.2 A
• 加熱出力：30 W
• 圧力範囲：1.5 x 10^5 ... 1 x 10^-5 Pa
• センサ電圧範囲：0...400 mV または 0...1200 mV（基板で切替）
• 酸素分圧範囲：1 x 10^5 ... 1 x 10^-21 Pa
• 出力信号：0–20 mA
• 精度：相対誤差 < 5 %（プロセス用途）
• センサ動作温度：700 °C（電子制御）
• オフセット（保護スリーブ装着時）：-15...-20 mV
• ヘリウム漏れ率：< 10^-8 mbar·L/s
• 許容ガス流速：最大 10 m/s
• 参照ガス：周囲空気
• 参照ガス流量（内部ポンプ）：約 5...10 L/h

コネクタ割当
コネクタ種類：Type 423、6極、Binder（注文番号：99-5622-15-06）

• 1：+24 V
• 2：GND
• 3：+ Iout（20 mA は設定により 400 または 1200 mV に相当）
• 4：- Iout
• 5：Ready 接点（無電位）— 60 V/1 A DC または 125 V/1 A AC
• 6：（割当なし）