マルチ センサープロフィロメータ
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... 概要
VK-X4000シリーズは、レーザー共焦点、白色光干渉(WLI)、フォーカスバリエーションを統合した3D光学プロファイリング顕微鏡であり、非接触で高精度な表面・トポグラフィ測定を一つのメトロロジープラットフォームで実現します。システムは多点自動化ルーチンおよび複数特徴の検出をサポートし、作業設定を最小限にしてスループットを向上させます。
主要機能
- 1台で3つの測定原理を搭載:レーザー共焦点、WLI、フォーカスバリエーションにより幅広い材料と形状に対応。
- 多点自動測定:ターゲット座標と倍率を設定して、無人のバッチ測定を実行可能。
- 複数特徴の自動測定:ターゲットの特徴を識別し、測定条件を自動適用して安定した結果を得る。
- AI-Analyzer:数十の表面パラメータを評価し、試料間の差を最も明確に示す指標を抽出して解析を効率化。
- 高い汎用性:金属、フィルム、プラスチック、半導体、医療部品などに適合。
測定原理と特長
- レーザー共焦点:複雑な形状や多様な材料に有効で、難しい形状の局所的な3Dデータを取得可能。
- 白色光干渉(WLI):非常に微細な表面の垂直方向分解能がsub-nmで、厚さ測定にも高精度を提供。
- フォーカスバリエーション:より広い領域で微細なテクスチャを捉え、透明性や傾斜が制約となる場合の補完手法となる。
多点/自動測定
- ターゲットを選択して複数の測定ポイントを設定すると、機器が位置決めと対物レンズ選択を自動で行う。
- 複数の試料・領域にわたるバッチ測定を繰り返しの手動設定なしで実行でき、サイクルタイムと操作差を低減する。
AI-Analyzer/粗さ解析
AI-Analyzerは多数の表面パラメータ(例:Ra、Rz、ISO基準の各種指標)を比較して、試料の差異を最もよく示す指標を特定し、粗さ指標の選定と結果解釈を迅速化します。
用途と利点
- 電子部品、精密加工、フィルム・コーティング、医療機器、プラスチック等の3D表面プロファイリングおよび粗さ解析。
- 再現性のある自動化ルーチンにより高スループット検査を実現し、品質管理や比較試験に適する。
- 補完的な測定手法を組み合わせることで、平滑なフィルムから粗い複雑形状までほぼすべての表面に対応。
技術仕様
- 商品名:VK-X4000
... リマスター Gocator 2600 シリーズは、デフォルトのスキャン速度の高速化、データ品質の向上、スキャンの多用途性の向上、および 4K+ の高解像度向けに最適化されています。 • 9 メガピクセル画像装置 • 高解像度の測定および検査のためのプロファイルあたり 最大 4192 ポイント • 最大 2.5 ミクロンの X 解像度 • 最大 2 m の視野 (550 ミクロンの X 解像度で) • オンセンサー測定ツールと I/O 接続 • ネイティブマルチセンサーアラインメントおよびネットワーキングサポート ...
... 高速、インラインでの高さ測定・検査 Z-Trak™2は、Teledyne Imaging社の3Dイメージセンサ技術をベースに開発された3Dプロファイルセンサの新ファミリで、高速、インライン3Dアプリケーション向けの5GigE 3Dプロファイルセンサの新時代を切り開いています。 モデルは、1秒間に最大45,000プロファイルのスキャン速度を実現し、1回のスキャンで反射率の異なる表面を処理するためのHDRおよび反射補正アルゴリズムを内蔵しています。これにより、電子機器、半導体、自動車、ファクトリーオートメーションの市場セグメントにおいて、検査、検出、識別、ガイダンスのためのインライン高さ測定を実現します。 最大45,000プロファイル/秒のスキャン速度を実現 プロファイルあたり2Kポイントを提供し、すべてのZ-Trak2モデルは工場で校正されており、様々な表面特性や動作環境に合わせて青または赤のアイセーフレーザーで提供されています。すべてのセンサは、過酷な環境に対応するIP67エンクロージャに収納されており、Teledyne ...
Dalsa
... インライン計測・検査アプリケーション向け高性能3Dプロファイラセンサ Z-Trakは、レーザー三角測量を使用した高解像度のリアルタイム高さ測定を実現する3Dプロファイルセンサのシリーズです。これらの軽量IP67定格プロファイルセンサは、自動車、電子機器、半導体、ファクトリーオートメーションにおけるインライン測定、検査、識別、ガイダンスアプリケーションに最適です。 Z-Trakシリーズは、さまざまな動作条件で信頼性の高い再現性の高い測定結果を提供します。Z-Trakモデルは、対象物の幅が8.5 mm~1520 ...
Dalsa