凝縮式微粒子計測器
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... NanoAir™ 10 は、ISOクラス1レベルの厳しい基準で管理される清浄区域、特にウエハ搬送モジュール (EFEM) 内やプロセス装置内の常時モニタリングに適した凝縮型気中パーティクルカウンタです。流量2.8 LPMで測定し、粒径10 nmの微粒子を検出します。 NanoAir 10は従来型の扱いやすさを備えた凝縮型パーティクルカウンタです。独自の凝縮制御機構 (特許出願中) により凝縮液は安定した状態に保たれ、24時間/365日フル稼働しても凝縮液の補充は15か月間必要ありません。年次校正の際に補充すれば、モニタリングの中断は最小限にとどまります。また、凝縮の過程で発塵することがないため、高い精度で測定結果が得られます。 ローカル ...
サイズ: 10 nm - 2,500 nm
... 概要
A30-CEN pgCPC は、プロピレングリコール(PG)を作動流体とする CEN 準拠の凝縮粒子計数器(CPC)です。飽和器–凝縮器システムでナノ粒子を光学的に検出可能なサイズまで成長させ、移動度等価の検出範囲は 10 nm ~ 2.5 μm です。PG オプションは、空港、クリーンルーム、公共空間、半導体施設などでブタノールが使用できない環境での設置を可能にします。無人の通年運用向けに屋外用キャビネット(オプション)を用意しています。
PG の利点
- 触媒蒸気フィルター(CVF)が不要
サイズ: 10 nm - 2,500 nm
... 概要
A30-CEN bCPC は、作動流体に n-ブタノールを用いる凝縮粒子計数器で、EN 16976:2024 に準拠した環境空気中の粒子数モニタリング向け機器です。サチュレータ–コンデンサーでナノ粒子を光学検出可能なサイズまで成長させて検出します。フィールドおよびラボ用途に適した小型機(4.9 kg)です。
主な特長
- 濃度範囲:0–500,000 #/cm³(単一粒子計数モード)
- Dp50:10 nm ±1
サイズ: 10 nm - 2,500 nm
... 概要
Airmodus A30 は、研究用途のコンパクトな凝縮粒子計数器(CPC)プラットフォームで、4.9 kg の小型筐体で 0–500,000 #/cm³ の濃度測定レンジを提供します。定常消費電力は 40 W。固定監視局、携帯/移動プラットフォーム、PEMS システム、ラック統合に適用可能。作動流体は正ブタノールまたはプロピレングリコールをサポートし、アクティブな除水システムを備えています。無人運用向けに OEM 版や屋外用キャビネットのオプションあり。
特徴と利点
- コンパクト寸法:190