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... 概要
レーザーガスアナライザ LG-100 Series は、半導体製造のエッチング工程で発生する四フッ化ケイ素（SiF4）の分圧変化をリアルタイムで測定します。これによりエンドポイント検出が可能となり、アンダーエッチやオーバーエッチのリスクを低減し、生産性および歩留まりの向上に寄与します。
技術と用途
LG-100 Series は HORIBA の IRLAM™（Infrared Laser Absorption Modulation）赤外線ガス分析技術を搭載しています。IRLAM ...
... 概要
TXR ID は携帯型の冷媒識別器で、車両や充填用ボンベ内の冷媒タイプ（R134a または R1234yf）を検出し、純度を確認します。解析は TEXA が開発した活性炭フィルターにより外来汚染の影響を低減し、精度を高めます。組み込みソフトウェアのガイド手順により、迅速かつ自動的な検査が可能です。
利点
- 誤ったまたは汚染された冷媒を検出して、A/C システムの安全で正確な充填を支援します。
- バッテリー駆動の携帯設計で、作業場や現場での可搬性を確保します。
- ガイド手順付きソフトウェアにより作業者のミスを減らし、点検を迅速化します。
ハードウェアの要点
- 5.4″
... 概要
ENVEA PAS Sense 1314i は光音響赤外検出技術を用いたガス分析計で、最大5成分のガスと水蒸気を ppb レベルの感度で測定します。温度、圧力、湿度および既知のガス干渉を補償し、消耗品不要で最小限の保守により安定した結果を提供します。機器は広いダイナミックレンジで線形応答を示し、通常は年2回以内の校正で運用できます。
特長と利点
- 最大5成分のガスと水蒸気を測定
- 幅広いガス・蒸気の選択測定が可能
- 広いダイナミックレンジでの線形応答
- 安定した運用：通常は年間最大2回の校正
- 扱いやすさ：PCによる校正、設定、データ表示・解析が容易
- 高精度：分析セル内の温度・圧力変動、試料中の水蒸気および既知の干渉を補償
- 極めて低流量でのパージが可能
- ほぼウォームアップ不要で即時運用可能
- TCP/IP