製造ライン用ガス監視設備

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プロセス監視用ガス監視設備
プロセス監視用ガス監視設備
LG-100 Series

... 概要
レーザーガスアナライザ LG-100 Series は、半導体製造のエッチング工程で発生する四フッ化ケイ素(SiF4)の分圧変化をリアルタイムで測定します。これによりエンドポイント検出が可能となり、アンダーエッチやオーバーエッチのリスクを低減し、生産性および歩留まりの向上に寄与します。

技術と用途
LG-100 Series は HORIBA の IRLAM™(Infrared Laser Absorption Modulation)赤外線ガス分析技術を搭載しています。IRLAM ...

検出用ガス監視設備
検出用ガス監視設備

... 概要
Li‑ion Tamer GEN 3 は電解質蒸気(オフガス)を検出してリチウムイオン電池のセル故障の初期兆候を捉え、設備担当者に熱暴走リスクの早期警戒を提供します。非接触のセンシングノードに温度・湿度監視を統合し、幅広い定置型および産業用のバッテリー設置に対してモジュール式でスケーラブルな展開が可能です。

特長

  • リチウムイオン電池の故障を早期警報し、熱暴走を防止
  • セルのオフガスを非接触で検出(機械的/電気的接触不要)
  • バッテリー安全性に対する独立かつ冗長な監視レイヤー
  • すべてのリチウムイオンセル形式および化学系に対応
  • 各センシングノードでの温度・湿度測定
  • 小規模から大規模BESSまで費用対効果の高いモジュール式スケーラビリティ
  • 導入が容易で、ソフトウェア支援による設定でコミッショニング時間を短縮
  • 較正不要のセンサーで長寿命を実現
  • リレー接点やModbusなどの統合出力を備え、現場システムと接続可能


適用分野
  • 定置型エネルギー貯蔵
    • コンテナ型/モジュール型システム
    • 建築環境やユーティリティ設置
  • データセンター
    • バッテリーUPSおよびバックアップシステム
  • ギガファクトリー/製造現場
    • セル・モジュールの組立ライン
    • バッテリーの形成工程やエージング試験
    • ラインエンド/品質試験
  • 自動車試験施設
    • 車載バッテリーの試験ラボ
  • 試験室安全
    • 環境チャンバーやアビューズテスト
  • 輸送・保管
    • 生産後の保管・物流
    • バッテリー搭載機器の保管


認証
  • FM
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Xtralis
検出用ガス監視設備
検出用ガス監視設備

... 概要
VESDA Sensepoint XCL は、VESDA‑E VEA 吸引システムと併用して早期のガス検知と在室者保護を実現する小口径(マイクロボア)吸引式ガス検知器です。Xtralis と Honeywell Analytics の共同開発製品で、火災リスクの監視や施設のガス監視にも対応します。内蔵の Bluetooth 4.0(BLE)により、モバイルアプリとペアリングして迅速な設置、設定、保守が可能です。

利用可能なセンサーと測定レンジ

  • 一酸化炭素(CO):0–1000
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Xtralis
検出用ガス監視設備
検出用ガス監視設備
XCL-LB

... 概要
VESDA Sensepoint XCL – ラージボアは、ASD配管ネットワークとマルチポイント(複数穴)サンプリングを用いる吸引式ガス検知ソリューションで、広範囲のカバレッジと設置の柔軟性を提供します。居住者の安全およびプロセス保護のための信頼できるガス監視を目的とし、火災対策と併用可能です。

主な仕様
XCL – ラージボアは多様な用途に対応する複数のセンサーオプションを備えています。検知器はBluetoothインターフェースを搭載し、Sensepointアプリとスマートデバイスをペアリングして、設置、設定、校正、バンプテストを簡素化し、診断情報への迅速なアクセスを提供します。

特徴

  • 対応ガスの幅広さ:
    • 一酸化炭素
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Xtralis
半導体検査用ガス監視設備
半導体検査用ガス監視設備
D-ReX PoS²

... Overview
D-ReX PoS²は半導体製造環境向けに設計されたコンパクトなガス検知システムです。内蔵ポンプによりサンプリングポイント(PoS)から最大約30 mまでサンプルガスを吸引でき、壁掛けまたはDINレール取付けに対応します。接続はPower over Ethernet(PoE)、4–20 mA、Modbus(RS-485)に対応しています。

USPs

  • 工具不要のメンテナンス:前面パネルは工具不要で開き、センサーカートリッジやポンプ機構に迅速にアクセス可能です。
  • リモートサンプリング:内蔵ポンプとサンプルライン機能により、狭小スペースや分散した採取点での採取が可能です。
  • 柔軟な統合:PoE、4–20
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検出用ガス監視設備
検出用ガス監視設備
D-ReX

... 概要
D-ReXは半導体産業や、有毒・腐食性・可燃性ガスの監視が必要な産業用途向けに設計されたスタンドアロン型ガス検知器です。PoU(拡散)方式、PoI(外部センサ、ケーブル最大1200 m)、PoS(内蔵ポンプ、サンプリングチューブ最大30 m)の各動作モードを備えています。ピロリザー(Py-ReX)モジュールは、熱分解が必要なガス向けのオプションです。

先進的なガス監視
D-ReXは電力と通信を兼用できるPower over Ethernet(PoE)をサポートし、LonWorks統合をオプションで提供します。2.4inカラーTFT表示により、測定濃度、閾値、故障、アラームをプレーンテキストで明確に表示します。

スマートセンサと簡単な保守
電気化学式、触媒式、赤外線式のセンサが選択可能で、30種以上の有毒・腐食性・可燃性ガスおよび酸素を監視できます。センサは事前設定された簡単交換式カートリッジで供給されます。Bluetooth接続のサービスアプリにより、立ち上げ・保守・診断が容易になります。

安全性を高めるオプション
D-ReXは最大5つの内部リレー(各自由にプログラム可能な入れ替え接点)を搭載可能です。リレー拡張モジュール(例:16リレー)やDINレール/壁面取付用の各種コントローラ/リレーモジュールを利用できます。

主な特長

  • 動作モード:PoU(拡散)、PoI(外部センサ最大1200
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