Máquina de gravação de wafers para a indústria da microeletrônica

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de plasma para a indústria da microeletrônica

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... comprovada de gravação a seco, incluindo o desenvolvimento patenteado da bobina de plasma indutivo de acoplamento multi-espiral (MS-ICP) e a sua aplicação para a matriz de materiais semicondutores compostos. A APX300-S pode processar ...

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