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Robôs para manipulação de wafers
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Carga máxima: 5 kg
Alcance: 250, 350, 400 mm
Repetibilidade: 0,01 mm
... das características de manutenção As tampas do robô YAMAHA SCARA série YK-XG podem ser removidas da frente ou para cima. A tampa é separada do cabo para que as tarefas de manutenção sejam fáceis. Em robôs ...
... 4.000 wafers/h Armazenamento em caixas móveis e substituíveis Detecção de bolachas duplas e partidas e remoção para uma caixa Detecção do defeito 6"-Wafers e remoção separada em caixas oferece a possibilidade ...
Carga máxima: 6 kg
Alcance: 750 mm
Repetibilidade: 0,1 mm
Carga máxima: 0 kg - 1 kg
Repetibilidade: 0,02 mm
... Os robots da série 1 são concebidos para o manuseamento de bolachas. O sistema modular permite a combinação de vários corpos base, de 7" a 21" de curso Z, com um grande número de diferentes módulos de braços de 10,5" ...
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