Equipamento de movimentação robótico WHM

integradopara wafers

O WHM WaferHandling.Module desenvolvido pela Adenso com uma câmara de vácuo central e o WHR WaferHandling.Robot integrado é optimizado para o manuseamento de substratos/carregadores em alto vácuo. O nosso WHM WaferHandling.Module funciona de forma completamente independente, economiza espaço e pode ser facilmente acoplado às suas estações de processo já completamente funcionais - a sua ferramenta Vacuum.Cluster está pronta! Robô WHR WaferHandling Câmara de vácuo com 4 a 8 portas Módulos LLM LoadLock STEALTH.CARRIER Módulos WAM WaferAlignment FLP FOUP300 VAC.LOADPORT O robô Adenso WHR WaferHandling é o coração da nossa plataforma modular VAC.ROBOTICS. O Adenso.WHR realiza tarefas de manuseamento de substratos sensíveis e de grandes dimensões em robótica de vácuo (VacBot industrial) e está optimizado para uma capacidade de carga máxima e grandes alcances. A geometria simples do braço permite válvulas de porta pequenas e áreas de rotação de manuseamento compactas. As suas vantagens num relance ALCANCE: Maiores distâncias de deslocação - máxima flexibilidade CARGA: Máxima capacidade de carga - seleção ilimitada de substratos VÁLVULA DE PORTA: Cinemática inteligente - a válvula de porta mais pequena PÉ: Cinemática economizadora de espaço - o mais pequeno espaço de instalação COMPLEXIDADE: Mantenha tudo simples com a Adenso - poupe espaço e dinheiro!