Módulo de centragem WAM200/300 VAC

O Adenso WAM200/300 VAC WaferAlignment.Module alinha substratos tais como wafers redondos e angulares, substratos transparentes e suportes, centralmente e numa posição angular. O WAM é perfeitamente combinável com o Adenso WHR WaferHandling.Robot - o robot recebe os dados de correção do WaferAlignment.Module automaticamente através de um interface. As suas vantagens Área útil: economia de espaço graças à integração direta em sistemas de cluster Flexível: são possíveis diferentes tamanhos e geometrias de substratos Produtivo: alinhamento rápido Preciso: através da unidade de acionamento direto Adenso DDU Redução de custos: poupa custos de investimento e de funcionamento