Visão geral do produtoFornece alimentação CC para polimento eletroquímico de wafers de 300 mm na fabricação de semicondutores. Fonte CC OEM de 6 canais em um pacote único contendo seis fontes de alimentação de 600 W. Controlador autocontido — opera de forma independente após pré-configuração.
Principais características- Fonte CC OEM de 6 canais
- Montagem em pacote único com seis fontes de 600 W
- Controlador autocontido — opera de forma independente uma vez pré-ajustado
- Suporta rampas e sequências
- Capacidade de operação dependente entre canais
- Interface DeviceNet
- Comutação de polaridade em estado sólido
Especificações técnicas- Canais: 6
- Potência por canal: 600 W
- Configuração: pacote único de 6 fontes
- Controle: controlador integrado com sequências e rampas programáveis
- Comunicação: DeviceNet
- Comutação de polaridade: estado sólido
Aplicações- Polimento eletroquímico de wafers de 300 mm
- Processamento de filmes finos e acabamento de superfícies
- P&D e linhas de produção de semicondutores
Interfaces e controlo- Comunicação DeviceNet para integração com a automação de fábrica
- Rampas, sequências e dependências entre canais programáveis para processos complexos
- Comutação de polaridade em estado sólido para mudanças de polaridade rápidas e fiáveis