Visão geral do produto Fornece alimentação CC para polimento eletroquímico de wafers de 300 mm na fabricação de semicondutores. Fonte CC OEM de 6 canais em um pacote único contendo seis fontes de alimentação de 600 W. Controlador autocontido — opera de forma independente após pré-configuração.
Principais características
Fonte CC OEM de 6 canais
Montagem em pacote único com seis fontes de 600 W
Controlador autocontido — opera de forma independente uma vez pré-ajustado
Suporta rampas e sequências
Capacidade de operação dependente entre canais
Interface DeviceNet
Comutação de polaridade em estado sólido
Especificações técnicas
Canais: 6
Potência por canal: 600 W
Configuração: pacote único de 6 fontes
Controle: controlador integrado com sequências e rampas programáveis
Comunicação: DeviceNet
Comutação de polaridade: estado sólido
Aplicações
Polimento eletroquímico de wafers de 300 mm
Processamento de filmes finos e acabamento de superfícies
P&D e linhas de produção de semicondutores
Interfaces e controlo
Comunicação DeviceNet para integração com a automação de fábrica
Rampas, sequências e dependências entre canais programáveis para processos complexos
Comutação de polaridade em estado sólido para mudanças de polaridade rápidas e fiáveis
Catálogos
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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.
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