Evaporador a vácuo antirreflexo SYRUSpro series

refletivo

Visão geral
A série SYRUSpro da Bühler Leybold Optics é uma revestidora a vácuo para óptica de precisão, desenvolvida para produção contínua 24/7 de filtros ópticos nas faixas espectrais DUV, VIS e IR. Oferece soluções configuráveis para especificações de revestimento exigentes e produção de alto rendimento.

Principais benefícios

• Projetada para aplicações exigentes: Atende especificações rigorosas para IR, DUV e regimes de comprimento de onda extremos.
• Adaptada ao seu processo: Ampla seleção de componentes de alta qualidade para configurar conforme requisitos do processo.
• Máxima flexibilidade: Oito opções de tamanho de câmara para ajustar capacidade de carga e dimensões de substrato.

Recursos em destaque

• Opções de câmara: Oito tamanhos com diâmetros internos de 710 mm a 2800 mm para corresponder à capacidade de carga e às dimensões do substrato.
• Opções de revestimento: Suporta filtros de borda (short/long pass), filtros de corte UV/IR, filtros notch e passa-banda estreito, filtros dicroicos, divisores de feixe de polarização, revestimentos AR e HR para lasers e outros revestimentos ópticos especializados.
• Flexibilidade de componentes chave: Configurável com monitoramento óptico in-situ, fontes de plasma, ampla gama de evaporadores por feixe de elétrons e térmicos, medição por cristal de quartzo (QCM) e vários sistemas de suporte de substrato.

Outras características

• Automação: Controle de processo avançado que combina alta flexibilidade de programação com elevados níveis de automação para produção contínua eficiente.
• Otimização DUV: Opções de superfícies de câmara tratadas, materiais selecionados e configurações de componentes personalizadas para revestimentos de baixa perda na fotolitografia a 193 nm.
• Aplicações IR: Adaptações para alto consumo de materiais IR, garantindo excelente desempenho de camada e uniformidade em substratos planos e altamente curvados.
• Personalizável: Bühler Leybold Optics trabalha com clientes para especificar configurações que atendam requisitos de qualidade, eficiência e confiabilidade.

Downloads

• Brochure Precision optics (PDF)
• Dados técnicos: Syruspro series (PDF)

caractéristiques / spécifications techniques

• Série / Modelo: SYRUSpro
• Aplicação: produção em volume de filtros ópticos 24/7
• Intervalos espectrais: DUV, VIS, IR
• Tamanhos de câmara: 8 opções; diâmetros internos 710 mm a 2800 mm
• Tipos de revestimento suportados: filtros de borda, corte UV/IR, notch, passa-banda estreito, dicroicos, divisores de feixe polarizados, AR/HR para lasers, etc.
• Componentes configuráveis: monitoramento óptico in-situ, fontes de plasma, evaporadores por feixe de elétrons e térmicos, QCM, sistemas de suporte de substrato
• Automação: controle de processo avançado com alta flexibilidade de programação para produção contínua
• Otimização DUV: tratamentos de superfície e materiais selecionados para revestimentos 193 nm de baixa perda
• Capacidade IR: configurado para alto throughput de materiais IR e uniformidade em substratos planos e curvos