Máquina de deposição por pulverização catódica de magnétron STARpro
de camadas finasa vácuopara optoeletrônica

máquina de deposição por pulverização catódica de magnétron
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Características

Tecnologia
por pulverização catódica de magnétron
Tipo de deposição
de camadas finas
Outras características
a vácuo
Aplicações
para optoeletrônica

Descrição

“ O STARpro dos sistemas óticos de Bühler Leybold é um único sistema de revestimento reativo novo do salpico do magnétron dedicado às aplicações do sistema ótico da precisão. O sistema é muito fácil de instalar e operar-se. Além disso, STARpro consegue ponto-na precisão e na reprodutibilidade alta durante todo a vida inteira do alvo pela aplicação de OMS ótico superior 5100 do SISTEMA ÓTICO do sistema de medição LEYBOLD dos sistemas óticos de Bühler Leybold. design compacto super da Espaço-economia Com a pegada a menor dentro de nosso portfólio do produto, STARpro pode ser colocado mesmo dentro das ameias. Isto faz-lhe um ajuste perfeito para os ambientes os menores do laboratório, especialmente em combinação com uma grande variedade de processos de revestimento possíveis. Dispositivos do processo configuráveis para a diversidade impressionante do produto Com o uso das multi-camadas SiO2 e Si3N4, os produtos que variam dos revestimentos anti-reflexivos aos seletores de frequências, aos filtros de borda, aos espelhos dielétricos e aos filtros dichroic podem ser produzidos. Um fechamento da carga que seja separado da câmara do processo assegura-se de que as carcaças não estejam contaminadas por partículas. Com um máximo de quatro carcaças a ser revestidas paralelamente, o STARpro é a escolha perfeita para a criação de protótipos rápida da camada e a produção do filtro ótico do pequeno-grupo. Agradecimentos altamente precisos da reprodutibilidade a um sistema de medição ótico in situ O OMS ótico in situ superior 5100 do SISTEMA ÓTICO do sistema de medição LEYBOLD assegura-se de que a pilha projetada da camada esteja conseguida precisamente a qualquer hora. Uma transferência rápida do projeto teórico da camada em combinação com o SISTEMA ÓTICO da ferramenta de software LEYBOLD do sistema ótico de Bühler Leybold \ o “SimuOMS5000 \ “torna possível conseguir o desempenho ótico calculado com o primeiro tiro no STARpro. \ /html”

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