O perfilómetro ótico híbrido 3D da série Superview WT é utilizado para a medição sub-nanométrica de superfícies de vários componentes e materiais de precisão. Integra as caraterísticas de desempenho de dois instrumentos de medição 3D de alta precisão, o interferómetro de luz branca e o microscópio confocal, e pode efetuar a varredura sem contacto da superfície das amostras e, em seguida, restabelecer a imagem 3D da superfície. Ao medir as superfícies ultra-lisas e transparentes, o modo de interferometria de luz branca pode ser utilizado para obter imagens de alta precisão e sem distorção, e analisar parâmetros como a rugosidade. Na medição de superfícies grosseiras com caraterísticas de ângulo acentuado, o modo de microscopia confocal pode reconstruir imagens topográficas 3D de grande ângulo, e os parâmetros 2D e 3D que reflectem a qualidade da superfície são obtidos por processamento de dados e análise de imagens 3D da superfície através de software.
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