As opções de metrologia complementares do CIMS foram concebidas para melhorar ainda mais as capacidades de inspeção de dispositivos semicondutores. Essas opções podem ser integradas no equipamento CIMS, proporcionando um novo nível de garantia de qualidade aos nossos clientes.
As opções adicionais do CIMS incluem capacidades únicas de metrologia 2D e 3D que permitem realizar medições avançadas durante o ciclo normal de inspeção. Isto elimina a necessidade de sistemas de metrologia dedicados fora de linha e encurta o ciclo de feedback do controlo de qualidade.
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