Sensor de gás NDIR Gasboard-2061

para medição de processospara monitoramento de purificação de gases para semicondutoresdigital

Visão geral do produto
O Gasboard-2061 é um sensor de gás NDIR WF6 projetado para detecção em tempo real do endpoint de limpeza em câmaras de deposição CVD de tungsténio (WCVD). Mede a concentração de WF6 com sensibilidade e estabilidade em condições de processo, permitindo indicar o fim da limpeza para reduzir o tempo, limitar o consumo excessivo de gás e minimizar o desgaste da câmara.

O Gasboard-2061 possui arquitetura compacta e modular para instalação simples. Suporta interfaces analógicas e digitais e permite calibração e ajustes para integração facilitada em sistemas de controlo de processo.

Características

• Tecnologia NDIR otimizada para monitorização de WF6.
• Resposta rápida para acompanhamento em tempo real de variações de concentração.
• Baixa deriva de zero e alta repetibilidade para resultados consistentes.
• Design selado adequado para operação em ambiente de vácuo.
• Construção em 316L resistente a ambientes de processo corrosivos.
• E/S analógicas e digitais para integração e manutenção.

Especificações
Componente medido: WF6
Faixa: 0–200 mTorr
Repetibilidade: ±0,5 %
Precisão: ±1 % F.S.
Tensão de operação: 24 VDC
Corrente de operação: 1,5 A (máx)
Saída analógica: 0–5 VDC (4 canais) ou 4–20 mA (4 canais)
Entrada analógica: 0–10 VDC (1 canal)
Saída digital: 4 canais; Entrada digital: 1 canal
Comunicação: RS485
Porta de amostragem: NW25
Taxa de fuga: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
Temperatura ambiente de operação: 20–35 ℃

Notas

• Todos os dados são medidos à pressão atmosférica padrão.
• Os gases de calibração são fornecidos por instituições certificadas pelas autoridades nacionais de metrologia; os gases são diluídos em azoto seco com pureza de 99,999 %.
• Os valores de desempenho são fornecidos após calibração; cada sensor é calibrado a 100 % na produção.
• As medições são realizadas a 25 ℃ salvo indicação em contrário.

Especificações técnicas

• Componente medido: WF6
• Faixa: 0–200 mTorr
• Repetibilidade: ±0,5 %
• Precisão: ±1 % F.S.
• Tensão de operação: 24 VDC
• Corrente de operação: 1,5 A (máx)
• Saída analógica: 0–5 VDC (4 canais) ou 4–20 mA (4 canais)
• Entrada analógica: 0–10 VDC (1 canal)
• Saída digital: 4 canais; Entrada digital: 1 canal
• Comunicação: RS485
• Porta de amostragem: NW25
• Taxa de fuga: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
• Temperatura ambiente de operação: 20–35 ℃