Sensor de gás NDIR Gasboard-2060

de infravermelhopara medição de processospara monitoramento de purificação de gases para semicondutores

Visão geral do produto
O Gasboard-2060 é um sensor de gás SiF4 com tecnologia NDIR, concebido para detecção em tempo real do ponto final (EPD) durante a limpeza de câmaras CVD em processos de semicondutores. Integra uma célula de gás e óptica específicas para medir seletivamente a concentração de SiF4 e controlar o processo de limpeza. O Gasboard-2060 fornece leituras rápidas e permite integração por interfaces analógicas e digitais.

Características

• Deteção NDIR otimizada para SiF4.
• Resposta rápida (T90＜2s) para determinação precisa do ponto final da limpeza.
• Saída estável com baixa deriva de zero e alta repetibilidade.
• Desenho modular e compacto para instalação e manutenção simples.
• Saídas analógica (1–10VDC) e digital (RS232); porta de amostragem KF16.

Especificações
Gás medido: SiF4
Princípio de deteção: NDIR (Non-Dispersive Infrared)
Faixa: (0.0–0.2) Absorbance
Tempo de resposta: T90＜2s
Taxa de reporte de dados: 0.5s
Saída analógica: 1–10VDC
Entrada de alimentação: 15VDC (≤300mA) ou 24VDC
Comunicação digital: RS232
Porta de amostragem: KF16
Dimensões: 200 × 120 × 75,5 mm
Taxa de fuga: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Temperatura de operação: 5～65 ℃

Especificações técnicas

• Gás medido: SiF4
• Princípio de deteção: NDIR
• Faixa: (0.0–0.2) Absorbance
• Tempo de resposta: T90＜2s
• Taxa de reporte de dados: 0.5s
• Saída analógica: 1–10VDC
• Entrada de alimentação: 15VDC (≤300mA) ou 24VDC
• Comunicação digital: RS232
• Porta de amostragem: KF16
• Dimensões: 200×120×75,5 mm
• Taxa de fuga: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Temperatura de operação: 5～65 ℃