Máquina de deposição por pulverização catódica

de camadas finassolar

O Infinity IBD System fornece filmes com defeitos densos e mais baixos com uma precisão e uniformidade extremamente elevadas. Oferece um controlo independente das energias iónicas, de modo a que se possa obter especificações de película fina com uma contaminação muito baixa por descamação. O módulo Bias Target Sputter oferece um excelente controlo das interfaces de película fina, proporciona um controlo independente sobre as correntes e energias iónicas, e funciona a uma baixa pressão. Isto elimina a contaminação e a dispersão do excesso de feixe, evita danos na superfície, permite um controlo apertado do stress, e cria filmes densos e sem defeitos. O módulo BTS melhora o custo de propriedade com uma maior utilização do alvo que lhe permite reduzir o tamanho total do alvo. A concepção do sistema permite alcançar uma excelente uniformidade em grandes substratos sem rotação. O módulo oferece pulverização pulsante e uma taxa de deposição mais elevada em comparação com outras plataformas IBD. Todas estas características e benefícios únicos são apoiados pelo compromisso de parceria e serviço a longo prazo da Denton. Com os nossos especialistas, receberá uma configuração altamente fiável para satisfazer as suas necessidades e especificações, que proporciona um elevado tempo de funcionamento do sistema e facilidade de manutenção. Microbolómetros de óxido de vanádio Óptica de precisão (lasers, detectores IR) Revestimentos anti-reflexo VCSEL Células solares de alta eficiência Válvulas rotativas para gravação magnética Matrizes de plano focal Imagem térmica Facetas de barras laser