Sistema de monitoramento da densidade LambdaPro® OMS

para a indústria eletrônicaa laseróptico

O LambdaPro® OMS da Denton Vacuum permite-lhe maximizar o rendimento, controlando a deposição durante uma corrida e conseguindo um rendimento repetitivo de corrida em corrida. O LambdaPro OMS monitoriza as propriedades de uma óptica em tempo real à medida que esta é depositada, utilizando o reflexo de - ou a transmissão através de - um substrato ou chip testemunha. Esta monitorização directa de um substrato ou a monitorização indirecta de um chip testemunha permite terminar o depósito na espessura óptica desejada. O Sistema de Monitorização Óptica LambdaPro® é altamente configurável para satisfazer as suas especificações exactas e resultará em maiores rendimentos de produção em óptica multicamadas. Esta solução oferece uma integração completa no sistema controlado por computador da Denton, fornecendo tanto uma elevada taxa de varrimento de sinal como conversões analógicas para digitais, enquanto trabalha tanto nos modos de reflexão como de transmissão. Revestimentos anti-reflexo e de alto-reflexo Facetas laser Sensores e filtros ópticos Filtros de passagem de banda Filtros e revestimentos de infravermelhos Filtros de densidade neutra Metalização Rachadores de vigas O LambdaPro® OMS fornece resultados dramáticos em espessura óptica e uniformidade para múltiplas pilhas de filmes, ao mesmo tempo que fornece uma visão aguçada do índice que está a ser alcançado em tempo real, juntamente com a estequiometria do filme. Uma vez que o nosso OMS mede a espessura óptica e não a espessura física, esta solução é excelente para pilhas ópticas complexas, de várias camadas.