Linha de processamento para a indústria alimentícia EVG®120

para wafers

O EVG®120 é um sistema de processamento de resistência compacto e econômico para iniciar a produção quando o espaço da sala limpa é limitado. A nova ferramenta de processamento de resistência universal e totalmente automatizada EVG120 é capaz de processar várias formas e tamanhos de substrato de até 200 mm/8". Esta nova geração do EVG120 vem em um novo design ultra-compacto com gabinete químico recém-desenvolvido para armazenamento externo de produtos químicos, proporcionando maior capacidade de produção, otimizado para necessidades de alto volume de clientes e pronto para utilização em fabricação de alto volume (HVM). O EVG120 oferece aos usuários um conjunto elaborado de benefícios que simplesmente não é encontrado em nenhuma outra ferramenta e garante os mais altos padrões de qualidade em vários campos de aplicação a um custo de propriedade notavelmente baixo. Funcionalidades Tamanhos de wafer até 200 mm Design ultra-compacto para uma pegada mínima Até 2 câmaras de revestimento/desenvolvimento e 10 placas quentes/frias As combinações versáteis de módulos multifuncionais para revestimento por rotação e pulverização, desenvolvimento, cozimento e resfriamento oferecem grandes oportunidades em muitos campos de aplicação Gabinete de química para armazenamento externo de produtos químicos A tecnologia de atomização ultra-sônica OmniSpray® do Grupo EV fornece resultados de processo incomparáveis quando se trata de revestimento isolante de topografias extremas Cobertura rotativa CoverSpinTM para baixo consumo de resistência e uniformidade otimizada do revestimento de resistência A tecnologia Megasonic para limpeza, processamento e desenvolvimento sono-químico melhora a eficiência do processo e reduz o tempo de processo de horas para minutos O manuseio sofisticado e comprovado em campo do robô com capacidade de duplo efeito final garante alto rendimento contínuo