Perante as empresas de fabrico de matérias-primas a montante e as empresas de fabrico de bolachas a meio da cadeia da indústria de semicondutores, o sistema de deteção ótica de campo claro e escuro desenvolvido de forma independente é utilizado para detetar os defeitos de aspeto das matérias-primas semicondutoras, bolachas epitaxiais e bolachas modeladas.
Vantagens do produto:
- Aplicável a uma variedade de bolachas
Adequado para bolachas de 4-8 polegadas, substratos, bolachas epitaxiais e bolachas modeladas
- Pode detetar uma variedade de defeitos
Detecta partículas, buracos, saliências, riscos, manchas, fissuras e outros defeitos
- Alta resolução
Resolução do sistema: 1-10 μ m
- Velocidade de deteção rápida
Sem padrão de bolacha: 180 segundos / bolacha quando o número de defeitos é inferior a 200
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