Máquina de inspeção de defeitos CR7300 series

DR-SEMpara wafersindustrial

SEM de revisão em linha que contribui para o aumento do rendimento com ADR de alta velocidade e ADC preciso - Resolução de imagem SEM melhorada para desenvolvimento de dispositivos de ponta e produção em massa - Nova solução in-situ de controlo de rendimento que é quantificada e indica as propriedades eléctricas (R/C) no processo de semicondutores - Maior produtividade que melhorou o desempenho do rendimento em 2x em comparação com o modelo anterior - Contribui para o desenvolvimento de dispositivos da geração N3 através de uma função avançada de revisão e análise de defeitos para bolachas não padronizadas - Melhoria notável do desempenho e da precisão da classificação de defeitos através da adoção da ADC (Classificação Automática de Defeitos) baseada em IA