Robô articulado NTS series
de 4 eixosde 5 eixosde manipulação

robô articulado
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Características

Tipo
articulado
Número de eixos
de 4 eixos, de 5 eixos
Função
de manipulação
Área de aplicação
para sala limpa
Carga máxima

0,7 kg
(1,543 lb)

Alcance

1.066 mm
(41,97 in)

Repetibilidade

0,1 mm
(0,0039 in)

Descrição

O robô da série NTS pode aceder a 2 e 3 FOUPs da EFEM sem um trilho. O sistema de acionamento especialmente concebido permite que o robô se mova de forma incrivelmente suave e com elevada precisão. A série está em conformidade com a norma SEMI-F47, bem como com a norma SEMI-S2. Aplicações Manuseamento de bolachas de silício

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Catálogos

* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.