Robô articulado TTS series
de 4 eixosde 5 eixosde manipulação

robô articulado
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Características

Tipo
articulado
Número de eixos
de 4 eixos, de 5 eixos
Função
de manipulação
Montagem
de piso
Área de aplicação
para sala limpa
Outras características
de alta velocidade, de alta precisão
Carga máxima

0,7 kg
(1,543 lb)

Alcance

1.066 mm
(41,97 in)

Repetibilidade

0,1 mm
(0,0039 in)

Descrição

O robô da série TTS pode aceder a 2 e 3 FOUPs da EFEM sem um trilho. O sistema de acionamento especialmente concebido permite que o robô se mova de forma incrivelmente suave e com elevada precisão. Para além disso, o seu mecanismo telescópico rígido permite um manuseamento a alta velocidade em posições altas e baixas. A série está em conformidade com a norma SEMI-F47, bem como com a norma SEMI-S2. Aplicações Manuseamento de bolachas de silício

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Catálogos

* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.