Sistema de medição de temperatura SensArray®

automáticode ferramentas

O pacote de gestão de processos in situ SensArray® Automation proporciona uma recolha rápida e automatizada de medições de temperatura da câmara de ferramentas de processo, ao mesmo tempo que fornece uma funcionalidade semi-automatizada para apoiar o arranque de fábricas. O pacote SensArray Automation inclui a estação base de automação AS1000, que é compatível com todos os produtos SensArray sem fio de 300 mm, o FOUP compatível com trilho suspenso (OHT), um controlador de automação de sistema e componentes de assento de software para PC de escritório. Os FOUPs SensArray podem suportar dois produtos SensArray separados para uma implementação flexível na fábrica e podem ser processados da mesma forma que qualquer FOUP de produção, com portabilidade direta de dados para gráficos SPC. A automação SensArray proporciona melhorias de produtividade, resultando em ganhos na disponibilidade de ferramentas de processo, uso mais eficiente de recursos de engenharia e armazenamento centralizado de dados no banco de dados MES da fábrica. Aplicações Desenvolvimento de processos, Qualificação de processos, Monitorização de ferramentas de processo, Qualificação de ferramentas de processo, Correspondência de câmaras, Correspondência de ferramentas de processo