Máquina de inspeção óptica C30x

para wafer gravadopara a indústria eletrônicade defeitos

Os inspetores de defeitos óticos de plasma de banda larga da série C30x permitem a descoberta sistemática de defeitos e a deteção de defeitos de fiabilidade latente para o fabrico de chips para os mercados automóvel, IoT, 5G, eletrónica de consumo e industrial (militar, aeroespacial, médico). Os inspetores C30x aproveitam uma fonte de iluminação de banda larga ajustável, ótica avançada e um sensor de baixo ruído para capturar defeitos críticos em uma variedade de camadas de processo e tipos de dispositivos. A tecnologia NanoPoint™ concentra a inspeção em áreas de padrões com elevado risco de falhas de fiabilidade, fornecendo dados de defeitos acionáveis que ajudam a reduzir a falta e o excesso de matrizes. Através da descoberta de defeitos sistemáticos, os inspectores C30x ajudam a acelerar a caraterização e otimização de novos processos, nós de design e dispositivos durante a I&D. Na produção, a elevada sensibilidade dos sistemas C30x à velocidade de inspeção ótica permite a monitorização em linha de camadas de processo críticas, ajudando as fábricas a evitar excursões de defeitos que afectam a qualidade final das pastilhas. Os inspectores C30x são construídos sobre uma plataforma extensível e configurável, suportando tamanhos de bolacha de 200 mm e 300 mm. Os inspectores de plasma de banda larga C30x incluem as seguintes tecnologias: Fonte de iluminação de plasma de banda larga Com uma fonte de luz de alto brilho DUV/UV/visível, os inspectores da série C30x obtêm maior sinal para defeitos críticos. Bandas de comprimento de onda sintonizáveis Numerosas bandas de comprimento de onda oferecem a flexibilidade operacional necessária para obter um contraste ótimo para diferentes camadas de processo e tipos de dispositivos. Múltiplos pixéis O C30x inclui pixéis de pequenas dimensões, permitindo a deteção de defeitos minúsculos e críticos que afectam o rendimento e a fiabilidade do dispositivo. Sensor de elevada taxa de dados