Sistema de medição para bordas de wafers WATOM 200/300mm

ópticoa laserautomático

Perfilador de borda de wafer automatizado WATOM 200/300mm Medição da borda da bolacha - precisão exacta A utilização de padrões cada vez mais pequenos na indústria de semicondutores exige materiais cada vez mais avançados de qualidade extremamente elevada. Em resposta às melhorias constantes na qualidade dos wafers, a KoCoS Optical Measurement desenvolveu o WATOM, uma ferramenta de medição de borda de wafer e perfil de entalhe que anuncia uma nova era de medição extremamente precisa da geometria do wafer. O método de medição patenteado do WATOM LS utiliza um sensor de deteção de luz para medir o perfil da borda da bolacha com precisão exacta, incluindo o perfil dentro do entalhe. Utilizando uma câmara CMOS, são tiradas fotografias da linha laser produzida pelo perfil do bordo. Um algoritmo matemático desenvolvido pela KoCoS é então utilizado para determinar as caraterísticas do perfil do bordo. O design modular do WATOM está preparado para ser combinado com várias soluções de automação para os modernos processos de fabrico de semicondutores, quer as bolachas individuais sejam carregadas manualmente, quer exista um sistema automatizado de manuseamento de materiais (AMHS).