Sistema de medição para bordas de wafers WATOM 150/200mm

mediante câmeraautomáticoprofilômetro

Perfilador de borda de wafer automatizado WATOM 150/200mm Medição do bordo da bolacha - Tecnologia de projeção fiável O WATOM CCD utiliza a tecnologia de projeção de perfil como alternativa à tecnologia LS e fornece a solução ideal para requisitos de medição de perfil menos exigentes, em particular quando não é necessária a medição de entalhes. Uma câmara CMOS capta a imagem de perfil do bordo da bolacha iluminada por uma fonte de luz telecêntrica. O design modular do WATOM está preparado para ser combinado com várias soluções de automação para os modernos processos de fabrico de semicondutores, quer as bolachas individuais sejam carregadas manualmente, quer exista um sistema automatizado de manuseamento de materiais (AMHS).