A Navitar respondeu à necessidade crescente de alargar ainda mais os limites de resolução da inspeção ótica desenvolvendo uma lente NanoVue 248nm 4X Deep UV Zoom. O sistema ótico NanoVue funciona na luz ultravioleta profunda (DUV), permitindo a deteção e caraterização de defeitos críticos de rendimento, duplicando efetivamente o limite de resolução dos microscópios convencionais de luz visível.
- Sensibilidade de inspeção para 90 nm.
- Gama de zoom de 75X - 300X quando acoplado a uma objetiva de 100X.
- FOV de 0,15 a 0,037 mm com sensor de formato 2/3" e objetiva de 100X.
- Inspeção ótica até menos de 0,1 um utilizando objectivas Deep UV.
- A única solução de zoom UV profundo da indústria.
A objetiva NanoVue Zoom é ideal para o desenvolvimento de novos produtos OEM e para a integração em instrumentos DUV que requerem um maior rendimento, permitindo aos clientes desenvolver rapidamente novos instrumentos automatizados e flexíveis que são ricos em funcionalidades, mais baratos e com dimensões mais reduzidas.
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